鋁鎂合金靶材優(yōu)點:
力學性能:強度高,比強度也高,即強度與密度的比值較大,在保證強度的同時,重量相對較輕,有利于減輕設備或部件的整體重量。
物理性能:具有良好的導熱性和導電性,能夠滿足一些對導熱、導電性能有要求的應用場景;彈性模量小,使得材料具有較好的柔韌性和抗變形能力;抗電磁干擾、電磁屏蔽性好,可用于需要屏蔽電磁干擾的電子設備等領域。
化學性能:鋁鎂合金靶材具有優(yōu)異的耐腐蝕性,鎂的加入進一步提高了鋁的耐腐蝕性能,在空氣中能夠形成致密的氧化膜,阻止內(nèi)部材料進一步被氧化和腐蝕。
外觀特性:色澤鮮艷美觀,通過鍍膜工藝可以在物體表面形成具有良好裝飾效果的膜層。
鋁鎂合金靶材制備方法
原料準備:選用純度≥99.99%的鋁(Al)和鎂(Mg)顆?;蝈V材,根據(jù)靶材成分要求(如Al-Mg 50/50 at.%或其它比例),精確稱量原料,考慮鎂的燒損(通常額外添加1-3% Mg補償熔煉損失)。
熔煉與合金化:將鋁放入真空感應熔煉爐或電弧熔煉爐中,抽真空至≤10-3 Pa后充入高純氬氣保護。加熱至700-800℃使鋁完全熔化后,加入鎂塊(鎂的熔點較低,約650℃),攪拌促進均勻混合。再加入精煉劑去除熔體中的氣體和夾雜物,靜置后扒渣。
鑄造成型:使用預熱后的石墨模具或銅模(水冷),確??焖倌桃詼p少成分偏析。將熔融合金澆注至模具中,控制冷卻速率。
熱機械加工:將鑄錠加熱至300-400℃進行多道次軋制,總變形量≥70%。若存在孔隙,在高溫高壓(如500℃/100MPa)下致密化處理。
機加工:車削/銑削至接近靶材尺寸。
鋁鎂合金靶材應用領域
電子工業(yè):用于半導體、顯示器的導電薄膜或阻擋層。
光學鍍膜:用于制備反射鏡、濾光片等,鎂的加入可調(diào)節(jié)膜層的折射率和穩(wěn)定性。
半導體:作為電極或阻擋層材料,尤其適合對輕量化要求高的器件。
顯示技術:用于OLED或LCD的電極鍍膜,改善導電性和柔韌性。
防腐涂層:在航空航天或汽車部件表面形成耐腐蝕保護層。
新能源:鋰離子電池集流體或固態(tài)電池界面層的制備。
鋁鎂合金應用
航空航天領域:飛機結構件與發(fā)動機零部件。
汽車制造領域:車身與發(fā)動機部件,底盤零部件。
電子領域:電子設備外殼,散熱器。
交通運輸領域:船舶制造,鐵路車輛。
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