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鋁鉻硅合金靶材是一種用于物理氣相沉積（PVD）的濺射靶材，主要由鋁、鉻、硅三種元素組成，具有高硬度、耐磨、抗高溫氧化等特性，常用于刀具、模具、半導(dǎo)體器件等表面功能性涂層的制備。

鋁鉻硅合金靶材參數(shù)

純度：3N

配比：AlCrSi 60/30/10at%

尺寸：D50.8x6.3mm 按規(guī)格定制

鋁鉻硅合金靶材性能特點(diǎn)
機(jī)械性能：具有較高的強(qiáng)度和硬度，能增強(qiáng)薄膜的耐磨性和抗變形能力，使其在應(yīng)用中不易受到外力破壞。

高硬度：由于鉻和硅的加入，使得鋁鉻硅合金靶材具有較高的硬度，經(jīng)過(guò)物理氣相沉積工藝制備的涂層，其硬度相比純鋁涂層有顯著提高，能夠有效抵抗磨損和劃傷。
良好的耐磨性：高硬度以及合金化的微觀結(jié)構(gòu)，使靶材在使用過(guò)程中具有良好的耐磨性能，可用于制備在惡劣磨損環(huán)境下工作的部件涂層，如機(jī)械零件、刀具等，延長(zhǎng)其使用壽命。
抗高溫氧化性：硅元素在涂層中可形成非晶態(tài)的 Si?N?，能有效地阻礙氧向涂層內(nèi)部的擴(kuò)散，明顯提高涂層的抗高溫氧化性能，使其在高溫環(huán)境下仍能保持較好的穩(wěn)定性，適用于高溫工作的設(shè)備和部件。
優(yōu)異的耐腐蝕性：鋁、鉻、硅三種元素相互配合，可在靶材表面形成致密的氧化膜，阻止外界腐蝕性介質(zhì)的侵入，提高靶材的耐腐蝕性能，可用于制備在腐蝕環(huán)境中使用的零件涂層，如化工設(shè)備、海洋工程部件等。
良好的導(dǎo)電性：鋁具有良好的導(dǎo)電性，鉻和硅的加入對(duì)整體導(dǎo)電性影響較小，因此鋁鉻硅合金靶材仍保持了較好的導(dǎo)電性能，適合用于需要導(dǎo)電性能的物理氣相沉積工藝。