釩靶材,釩:元素符號(hào) V,銀灰色金屬,在元素周期表中屬VB族,原子序數(shù)23,原子量50.9414,體心立方晶體,常見化合價(jià)為+5、+4、+3、+2。釩的熔點(diǎn)很高,常與鈮、鉭、鎢、鉬并稱為難熔金屬。有延展性,質(zhì)堅(jiān)硬,無磁性。具有耐鹽酸和硫酸的本領(lǐng),并且在耐氣、耐鹽、耐水腐蝕的性能要比大多數(shù)不銹鋼好。于空氣中不被氧化,可溶于氫氟酸、硝酸和王水。高純釩具有儲(chǔ)氫、高溫超導(dǎo)、快中子吸收截面小以及對(duì)液態(tài)鈉有耐腐蝕性等特性,因此高純度金屬釩靶材用于儲(chǔ)氫合金與氫氣分離膜、高溫超導(dǎo)材料及高速增值反應(yīng)堆燃料棒的保護(hù)材料和釋熱元件等方面。下圖是釩濺射靶材的兩種典型的顯微金相檢測(cè)圖片,平均粒徑<100um。
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我們生產(chǎn)高純度的濺射靶材,它重要的好處是在物理氣相沉積的過程中,能獲得具有優(yōu)異的導(dǎo)電率和顆粒小化的薄膜。以下表格是3N高純釩濺射靶材的成分分析證明書。采用的分析方法:1,使用ICP-OES對(duì)金屬元素進(jìn)行分析;2,使用LECO進(jìn)行氣體元素分析。