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        鉭靶材，鉭化學(xué)符號Ta，鋼灰色金屬，在元素周期表中屬VB族，原子序數(shù)73，原子量180.9479，體心立方晶體，常見化合價為+5。鉭的硬度較低，并與含氧量相關(guān)，普通純鉭，退火態(tài)的維氏硬度僅有140HV。它的熔點高達2995℃，在單質(zhì)中，僅次于碳，鎢，錸和鋨，位居第五。鉭富有延展性，可以拉成細絲式制薄箔。其熱膨脹系數(shù)很小。每升高一攝氏度只膨脹百萬分之六點六。除此之外，它的韌性很強，比銅還要優(yōu)異。高純鉭可用作容量大、體積小、性能穩(wěn)定的固體電解電容，用于雷達、導(dǎo)彈、超音速飛機和電子計算機上、鉭還能制造石油化工熱交換器、加熱器、濃縮器及反應(yīng)器的槽、塔、管道和閥門等。鉭也可以用作電子發(fā)射管和高功率電子管零件材料，鉭合金可做超音速飛機燃燒室和耐熱耐高強材料，鉭鎢合金的導(dǎo)彈噴嘴，碳化鉭可單獨或與其他碳化合物一起，用作鍛模、切削工具、噴氣發(fā)動機渦輪葉片、閥及火箭噴嘴涂層。碳化鉭廣泛用于制造硬質(zhì)合金。鉭還具有與人體組織的穩(wěn)定性和愈合性，可用作外科補形材料和人造骨頭，還可用作接骨板、螺絲和縫合針等。下圖是鉭濺射靶材的顯微金相檢測圖片，平均粒徑<100um。

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         我們生產(chǎn)高純度的濺射靶材，它重要的好處是在物理氣相沉積的過程中，能獲得具有優(yōu)異的導(dǎo)電率和顆粒小化的薄膜。以下表格是3N5高純鉭濺射靶的成分分析證明書。采用的分析方法：1，使用ICP-OES對金屬元素進行分析；2，使用LECO進行氣體元素分析。