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        鉬靶材，鉬為銀白色金屬，鉬原子半徑為0.14nm，原子體積為235.5px/mol，配位數(shù)為8，晶體為Az型體心立方晶系，空間群為Oh（lm3m），至今還沒(méi)發(fā)現(xiàn)它有異構(gòu)轉(zhuǎn)變．常溫下鉬的晶格參數(shù)在0.31467~0.31475nm之間，隨雜質(zhì)含量而變化。鉬熔點(diǎn)很高，在自然界單質(zhì)中名列第六，被稱作難熔金屬，見(jiàn)表2。鉬的密度為10.23g/cm，約為鎢的一半（鎢密度19.36g/cm）。鉬的熱膨脹系數(shù)很低，20~100℃時(shí)為4.9×10/℃；鉬的熱傳導(dǎo)率較高，為142.35w/(m·k) 。鉬電阻率較低：0℃時(shí)為5.17×-10Ω·cm；800℃時(shí)為24.6×-10Ω·cm；2400℃時(shí)為72×-10Ω·cm。鉬屬順磁體，99.99%純度的鉬在25℃時(shí)比磁化系數(shù)為0.93×10cm/g。鉬的比熱在25℃時(shí)為242. 8J/（kg·k）。鉬的硬度較大，摩氏硬度為5~5.5。鉬在沸點(diǎn)的蒸發(fā)熱為594kJ/mol；熔化熱為27.6 ±2.9kJ/mol；在25℃時(shí)的升華熱為659kJ/mol。鉬是發(fā)熱體、隔熱屏，它具有導(dǎo)電導(dǎo)熱性能優(yōu)越、熱膨脹系數(shù)小，抗腐蝕性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)，主要用于電真空器件、高溫爐內(nèi)發(fā)熱體、隔熱板、料舟等，用于制造鉬舟、電力半導(dǎo)體用鉬元片和制作電真空光源零件等。下圖是鉬濺射靶材的兩種典型的顯微金相檢測(cè)圖片，平均粒徑<100um。

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      我們生產(chǎn)高純度的濺射靶材，它重要的好處是在物理氣相沉積的過(guò)程中，能獲得具有優(yōu)異的導(dǎo)電率和顆粒小化的薄膜。以下表格是3N5高純鉬濺射靶的成分分析證明書(shū)。采用的分析方法：1，使用ICP-OES對(duì)金屬元素進(jìn)行分析；2，使用LECO進(jìn)行氣體元素分析。