鎳鎢靶材是一種比較典型的合金靶材，鎳鎢合金具有低電阻系數(shù)，良好的熱穩(wěn)定性和抗氧化性；同時，加工性能好，韌性高的特點，因此以鎢、鎳混合粉末作為濺射靶材的原料，由這兩種原料制成的鎳鎢管靶已成為半導(dǎo)體領(lǐng)域用量較大的管靶之一。
鎳鎢合金靶材制備方法
制備靶材提供鎢和鎳混合粉末（質(zhì)量比為9.95:1至10.05:1），對所述鎢和鎳混合粉末采用冷等靜壓工藝，對鎢、鎳混合粉末和不銹鋼空心管進行首次致密化和預(yù)成型，形成半致密的鎢、鎳混合粉末和不銹鋼初始坯料，使后續(xù)的熱等靜壓工藝對鎢、鎳混合粉末和不銹鋼初始坯料可以進行更好的致密，以較好的對靶材的部分表面進行噴砂處理，同時不影響到靶材的其他不需要噴砂的部分，獲得鎳鎢合金靶材；
鎳鎢合金靶材應(yīng)用領(lǐng)域
W-Ni硬質(zhì)合金具有高強度、高硬度、優(yōu)良的耐磨性、耐熱性以及良好的抗腐蝕性等特點，因此廣泛應(yīng)用于高壓、高轉(zhuǎn)速、高溫、腐蝕性介質(zhì)等工作環(huán)境。
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