鑫康生產(chǎn)的鋁鉻合金靶材采用先進(jìn)的熱等靜壓工藝。產(chǎn)品包括矩形靶，弧形靶和長(zhǎng)徑比大的整體成型管靶等，具有組成比范圍廣，純度高，密度大，晶粒細(xì)小均勻，使用壽命長(zhǎng)的優(yōu)點(diǎn)。可根據(jù)客戶要求自由調(diào)節(jié)，實(shí)際密度接近99％。
以下是鋁鉻合金靶材的生產(chǎn)工藝
原材料 - 混粉 - 包套 - 合金粉末 - 包套壓制 - 熱等靜壓 - 金相檢驗(yàn) - 線切割 - 機(jī)加工 - 尺寸檢驗(yàn) - 清潔 - 包裝
鋁鉻合金靶材的相關(guān)參數(shù)
鋁鉻合金靶材金相檢驗(yàn)
通過(guò)反復(fù)的鍛造軋制及熱處理使我們能適當(dāng)?shù)恼{(diào)整靶材的微觀結(jié)構(gòu)來(lái)達(dá)到你想要的效果，如果濺射靶材的晶粒大小均勻一致,用戶可以獲得良好的濺射速率和均勻鍍膜層。下圖是鋁鉻30at%濺射靶材的顯微金相檢測(cè)圖片,平均粒徑< 100μm。
鋁鉻合金濺射靶材的成分分析
我們生產(chǎn)鋁鈦濺射靶材,它重要的好處是純度和密度高，具有晶粒細(xì)小均勻、使用壽命長(zhǎng)的優(yōu)點(diǎn)。下面的表格是2N8 鋁鉻30at%濺射靶的典型成分分析證明書。
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