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       鎳靶材，鎳是銀白色金屬，具有磁性和良好的可塑性。有好的耐腐蝕性，鎳近似銀白色、硬而有延展性并具有鐵磁性的金屬元素，它能夠高度磨光和抗腐蝕。溶于硝酸后，呈綠色。主要用于合金（如鎳鋼和鎳銀）及用作催化劑（如蘭尼鎳，尤指用作氫化的催化劑），密度8.902克/立方厘米， 熔點(diǎn)1453℃，沸點(diǎn)2732℃。我們可生產(chǎn)高純度到99.999%的高純鎳靶材，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體和微電子行業(yè)，是半導(dǎo)體背面電極的關(guān)鍵材料。通過反復(fù)的塑性加工我們生產(chǎn)的鎳靶具有高致密度，高純度的特性，且晶粒組織大小均勻一致。我們生產(chǎn)過程的靈活性使我們能適當(dāng)調(diào)整靶材的微觀結(jié)構(gòu)來達(dá)到你想要的效果，如果濺射靶材的晶粒大小均勻一致，可以獲得良好的濺射速率和均勻的膜層。下圖是鎳濺射靶材的兩種典型的顯微金相檢測圖片，平均粒徑在100um左右。

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       我們生產(chǎn)的高純度鎳濺射靶材，它重要的好處是在物理氣相沉積的過程中，能獲得具有優(yōu)異的導(dǎo)電率和顆粒小化的薄膜。以下表格是4N5以上高純鎳濺射靶的成分分析證明書。分析方法：1，使用GDMS對金屬雜質(zhì)元素進(jìn)行分析；2，使用LECO進(jìn)行氣體元素分析。