銀靶材，銀是白色有光澤的金屬，原子序數(shù)：47，原子結(jié)構(gòu)是面心立方結(jié)構(gòu)，其熔點：961℃，沸點：2163℃，密度：10.5g/cm3。銀材料本身具有“高反射率”“低電阻”的特點，單質(zhì)銀、銀合金可作為反射膜、電極膜、配線膜或是半透明膜（半透膜）用于以下行業(yè)：有機(jī)EL顯示器、照明、觸摸屏、薄膜太陽能電池、LED（發(fā)光二極管）、Low-E玻璃（建材）、光記錄介質(zhì)（BD、DVD、CD等）。雖然銀薄膜具有低電阻、高反射率等良好特性，但隨著時間流逝，反射率及導(dǎo)電性會因腐蝕及內(nèi)聚而下降。因此，我們也會使用銀并添加各類不同的合金成分，可以做出同時具有低電阻、高反射性及耐久性、耐熱性的銀合金靶材。
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我們生產(chǎn)的高純銀濺射靶材，重要的好處是在物理氣相沉積過程中，能獲得具有優(yōu)異的導(dǎo)電率和顆粒小化的薄膜。以下表格是4N高純銀濺射靶材的成分分析證明書。采用的分析方法有：1.使用ICP-OES對金屬元素進(jìn)行分析；2.使用LECO 進(jìn)行氣體元素分析。
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