一種難熔合金鎢鈦靶材的用途及其制備方法

鎢鈦合金靶材是通過粉末冶金技術(shù)生產(chǎn)的，廣泛用于半導(dǎo)體和薄膜太陽能電池。對于半導(dǎo)體應(yīng)用，WTi10wt％薄膜用作擴(kuò)散阻擋層和粘附層，以將金屬化層與半導(dǎo)體分開，例如，將鋁與硅分開，或?qū)~與硅分開。因此，可以顯著改善半導(dǎo)體在微芯片中的功能。對于薄膜太陽能電池，WTi10wt％薄膜還用作阻擋層，以防止鋼基底中的鐵原子擴(kuò)散到鉬背接觸和CIGS半導(dǎo)體。鎢鈦合金靶材還用于LED和工具涂層。

新型半導(dǎo)體芯片選擇鎢鈦合金靶材作為擴(kuò)散阻擋層和鍵合層的主要原因是該合金具有良好的表面附著力和優(yōu)異的散熱性能，因此，制備的產(chǎn)品將具有更高的綜合性能。

鎢鈦合金是一種兼有過渡金屬鎢和鈦的優(yōu)點(diǎn)的合金材料。它具有密度和純度更高、耐腐蝕性更好、體積膨脹效應(yīng)更小的特點(diǎn)，可以有效減少制造過程中顆粒的形成，即可以成功制備出高質(zhì)量的薄膜。

鎢鈦合金的制備方法
1、取一定量的鎢粉和鈦粉，在惰性氣氛保護(hù)下混合均勻。
2、使用機(jī)械壓力機(jī)或冷等靜壓機(jī)將所得混合材料壓制成坯料。
3、將生產(chǎn)出來的毛坯放入真空燒結(jié)爐中進(jìn)行致密化和燒結(jié)。
4、將步驟3中燒結(jié)的鎢鈦材料冷卻后，在非自耗真空電弧爐中熔煉得到產(chǎn)品。

我們鎢鈦合金優(yōu)點(diǎn)
1、生產(chǎn)工藝簡單，操作方便。
2、采用鎢鈦粉混合原料，壓制、燒結(jié)、電弧熔煉工藝，有效解決了傳統(tǒng)鎢鈦合金制備效率低、材料均勻度和雜質(zhì)含量難以控制的技術(shù)問題。

我廠可生產(chǎn)WTi 90 / 10wt％，WTi 85 / 15wt％靶材，并可定制特殊成分靶材，實(shí)際靶材密度> 99％，平均晶粒尺寸<100um。憑借高達(dá)4N5的純度和特殊的退火處理，均勻的晶粒尺寸以及較低的氣體含量，終用戶可以在PVD工藝過程中獲得恒定的腐蝕速率以及高純度和均勻的薄膜涂層。

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