硬質(zhì)涂層材料以其良好的耐磨、耐腐蝕和耐高溫氧化等特性而被廣泛應(yīng)用于切削刀具、工模具和耐磨零部件等機(jī)械加工工業(yè)領(lǐng)域。硬質(zhì)涂層的制備方法主要有物理氣相沉積方法(PVD)和化學(xué)氣相沉積方法(CVD)。后續(xù)我們還會降到硬質(zhì)涂層用鍍膜靶材的技術(shù)要求和制備方法，請持續(xù)關(guān)注我們的網(wǎng)站匯聚科研材料服務(wù)平臺。
硬質(zhì)涂層用鍍膜靶材的種類
利用PVD技術(shù)制備硬質(zhì)涂層所使用的靶材有很多種,根據(jù)材料的種類可以分為金屬靶材、合金靶材和氧化物靶材;根據(jù)形狀又可以分為長(方)體形靶材、圓柱體形靶材和不規(guī)則體形狀靶材。根據(jù)硬質(zhì)涂層材料的特點和應(yīng)用領(lǐng)域,可以將靶材細(xì)分為二元硬質(zhì)涂層、多元硬質(zhì)徐層、氧化物涂層。
二元硬質(zhì)涂層，TiN、CrN、TaN、ZrN、HIN等。
多元硬質(zhì)徐層，TiAIN、CrAIN、TiBN、TIAI-SIN、TiAICrN、TiAICrSiN等。
氧化物涂層，Al2O3 、ZrO2、CrO3、TIO2等。
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