半導(dǎo)體器件金屬薄膜保護涂層方案

由于金屬材料的高導(dǎo)電性，能很好的傳輸電流，眾多金屬元素如銅、鋁、金、銀、鈦、鉭、鎢等以及它們的合金，已在半導(dǎo)體器件中得到了大量應(yīng)用。金屬薄膜涂層是基于傳統(tǒng)電氣系統(tǒng)的革新應(yīng)用，例如，作為印刷電路板上的銅層，作為同軸電纜中的外部接地導(dǎo)體以及各種其他形式，如傳感器等。半導(dǎo)體的另一個主要應(yīng)用是在集成電路中，其中晶體管和電容器等有源和無源器件之間的電氣網(wǎng)絡(luò)由鋁或銅的膜層構(gòu)成。這些層的厚度范圍從100納米 到幾微米，并且它們通常嵌入到幾納米薄的氮化鈦層中，以阻止與周圍電介質(zhì)（如 SiO2）發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。

而隨著半導(dǎo)體集成電路高速發(fā)展，也面臨一些挑戰(zhàn)。首先，隨著越來越多的設(shè)備連接到 IoT（物聯(lián)網(wǎng)）并在其上蓬勃發(fā)展，無線連接和速度成為一個問題；其次，防水或防腐蝕的設(shè)備對消費者來說是一個巨大的吸引力；第三，設(shè)備需要可靠耐用，能夠承受持續(xù)、長時間的使用和偶爾的粗暴處理。這些都是半導(dǎo)體器件需要滿足的重要要求，也是半導(dǎo)體薄膜材料供應(yīng)商需要解決的挑戰(zhàn)。

通過磁控濺射沉積不同薄膜涂層保護材料可以解決這些挑戰(zhàn)性問題。在半導(dǎo)體器件上沉積各種薄膜涂層不僅可以提高它們的效率，而且可以延長它們的使用壽命。當(dāng)然，為了獲得高質(zhì)量的薄膜涂層，薄膜材料供應(yīng)商必須確保鍍膜材料（通常是濺射靶材或蒸發(fā)材料）具有高純度（不受其它雜質(zhì)材料污染），同時持續(xù)開發(fā)不同種類和功能的薄膜材料。

下面有一些半導(dǎo)體器件上的保護薄膜涂層應(yīng)用，以供參考。例如，類金剛石 (DLC) 涂層可以給半導(dǎo)體器件提供大程度的耐磨防護，防止器件刮傷和斷裂。DLC 涂層也可以應(yīng)用于外部器件，例如顯示屏幕，以提供相同的保護。而疏水涂層可以應(yīng)用于芯片或設(shè)備級別，為半導(dǎo)體器件制造商提供多種選擇來實現(xiàn)防水，具體取決于生產(chǎn)成本和性能目標(biāo)。同時大多數(shù)半導(dǎo)體器件都有一個以磨損機制結(jié)束的自然壽命。有源區(qū)的結(jié)構(gòu)缺陷會顯著縮短使用壽命，尤其受電流和溫度的影響。雖然這些退化故障是不可避免的，但應(yīng)用防護薄膜涂層后可以顯著延長半導(dǎo)體器件的壽命。例如在驅(qū)動電路和框架上使用正確的薄膜涂層可以減輕操作環(huán)境的腐蝕影響，這是通過薄膜保護涂層作為外來污染物的有效屏障來實現(xiàn)的，從而可以保持器件的完整性，并減輕外部物質(zhì)的潛在不良影響。如果你想了解這些防護薄膜涂層材料有哪幾種，以及它們的具體信息，請即刻聯(lián)系我們。

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