一種高熵合金濺射靶材的兩種制備方法

目前，高熵合金濺射靶材的制備方法有兩種：主要是特種熔煉和粉末冶金。

特殊冶煉方法

將一定比例的合金原料冶煉，然后將合金液體送入模具中，形成鑄錠，然后通過(guò)機(jī)械加工成靶材，在真空下鑄造。常用的冶煉方法有真空感應(yīng)熔煉、真空電弧熔煉和真空電子轟擊熔煉等。優(yōu)點(diǎn)是雜質(zhì)含量低，密度高，體積大;缺點(diǎn)是：兩個(gè)或兩個(gè)以上的靶材熔點(diǎn)和密度差較大，難以獲得成分均勻的合金靶材。

粉末冶金法

按一定比例的合金原料冶煉，澆注到錠中破碎后，等靜壓形成，然后高溫?zé)Y(jié)，后形成靶材，優(yōu)點(diǎn)是靶材成分均勻，缺點(diǎn)是密度低，雜質(zhì)含量高，常用的粉末冶金方法有冷壓， 真空熱壓、熱壓等靜壓粉末冶金。

高熵合金靶材的制造工藝

采用金屬冶煉、金屬冶金、非金屬粉末法，采用真空熔煉、常熱壓、冷壓燒結(jié)，鍛造、熱軋后，消除型材應(yīng)力，均勻或均勻燒結(jié)，或通過(guò)高溫?zé)Y(jié)提高其密封性，再經(jīng)車(chē)、銑削、研磨、研磨，然后清洗、干燥， 后制作成品。有時(shí)，厭氧銅背板可以在某些靶材被表面金屬化后根據(jù)需要固定。后，超聲波或X射線(xiàn)檢查，包裝和工廠(chǎng)檢查通過(guò)。

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