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常見的十大耐高溫濺射靶材

濺射靶材


耐高溫濺射靶材在許多高科技領(lǐng)域中扮演著關(guān)鍵角色,特別是在需要高溫穩(wěn)定性的應(yīng)用場景中。以下是十大耐高溫濺射靶材的介紹:


  1. 鉬及鉬合金靶材

    • 特點:鉬是一種銀灰色金屬,熔點高達(dá)2623°C,密度為10.2g/cm3。鉬及其合金具有高熔點、良好的導(dǎo)電導(dǎo)熱性、低熱膨脹系數(shù)、優(yōu)異的耐腐蝕性能及環(huán)境友好等優(yōu)點。
    • 應(yīng)用:鉬及鉬合金靶材已廣泛應(yīng)用于電子電器、太陽能電池及玻璃鍍膜等領(lǐng)域。
  2. 釕金屬靶材

    • 特點:釕靶材具有良好的耐熱性、耐腐蝕性和機械強度,適合在高溫、高壓和腐蝕環(huán)境下使用。
    • 制備工藝:將釕粉裝入石墨模具,振實壓緊后放入真空熱壓爐中進行單向熱壓燒結(jié),燒結(jié)過程在保護氣體氛圍下進行,燒結(jié)溫度為1600-1800℃,燒結(jié)壓力為5-20MPa。
    • 應(yīng)用:釕靶材可用于電子器件的薄膜沉積,以及制備光學(xué)薄膜和光學(xué)鍍膜等。
  3. 超高純鋁濺射靶材

    • 特點:鋁靶材具有高純度和優(yōu)異的導(dǎo)電性能,適用于半導(dǎo)體器件的導(dǎo)電層和障礙層制備。
    • 市場現(xiàn)狀:預(yù)計2029年全球超高純鋁濺射靶材市場規(guī)模將達(dá)到3.8億美元,年復(fù)合增長率CAGR為5.6%。
    • 主要生產(chǎn)商:包括Sumitomo Chemical、Konfoong Materials International、Linde、TOSOH、Honeywell等。
  4. 銅銦鎵硒(CIGS)靶材

    • 特點:CIGS靶材主要用于薄膜太陽能電池的生產(chǎn)。
    • 應(yīng)用:隨著太陽能行業(yè)的快速發(fā)展,對CIGS靶材的需求也在增加。
  5. 氧化銦錫(ITO)靶材

    • 特點:ITO靶材主要用于制造透明導(dǎo)電膜,廣泛應(yīng)用于觸控屏和平板顯示器。
    • 市場地位:隨著消費電子產(chǎn)品需求的不斷增長,ITO靶材的市場地位日益重要。
  6. 鎢靶材

    • 特點:鎢具有高熔點(3422°C)和優(yōu)異的耐磨性,適用于高溫和耐磨材料的濺射沉積。
    • 應(yīng)用:鎢靶材在半導(dǎo)體、電子器件和耐磨涂層等領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。
  7. 鈦靶材

    • 特點:鈦靶材具有良好的耐腐蝕性和生物相容性,適用于醫(yī)療器械和生物傳感器的濺射沉積。
    • 應(yīng)用:隨著醫(yī)療技術(shù)的不斷發(fā)展,鈦靶材在醫(yī)療器械領(lǐng)域的應(yīng)用前景廣闊。
  8. 鉭靶材

    • 特點:鉭靶材具有高熔點(2996°C)和優(yōu)異的化學(xué)穩(wěn)定性,適用于高溫和化學(xué)穩(wěn)定材料的濺射沉積。
    • 應(yīng)用:鉭靶材在電子器件、航空航天和化工領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。
  9. 鈮靶材

    • 特點:鈮靶材具有高熔點(2468°C)和優(yōu)異的超導(dǎo)性能,適用于超導(dǎo)材料和電子器件的濺射沉積。
    • 應(yīng)用:鈮靶材在超導(dǎo)材料、電子器件和航空航天領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。
  10. 鋯靶材

    • 特點:鋯靶材具有良好的耐腐蝕性和生物相容性,同時具有較高的熔點(1852°C),適用于耐腐蝕和生物相容材料的濺射沉積。
    • 應(yīng)用:鋯靶材在醫(yī)療器械、化工設(shè)備和電子器件等領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。

綜上所述,以上十大耐高溫濺射靶材各具特色,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)、光伏、電子器件、醫(yī)療器械等多個領(lǐng)域。隨著科技的進步和市場需求的變化,這些靶材的研發(fā)正朝著更高性能、更低成本和更環(huán)保的方向發(fā)展。


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