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氮化物陶瓷靶材有哪些

氮化物是氮與金屬的化合物。它們通常具有高度的熱穩(wěn)定性和出色的化學(xué)穩(wěn)定性。除鹽和金屬氮化物外,還有共價(jià)氮化物,如氮化鋁、氮化硼和氮化硅。某些金屬氮化物不穩(wěn)定,大部分與水反應(yīng)生成氨和金屬的氧化物或氫氧化物;但硼、釩、硅、鈦和鉭的氮化物非常耐火、耐化學(xué)腐蝕且堅(jiān)硬——因此可用作磨料和制造坩堝。


氮化物陶瓷靶材


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氮化物陶瓷濺射靶材列表

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