靶材形狀、純度、密度、孔隙率、晶粒尺寸和粘合質(zhì)量對(duì)薄膜質(zhì)量和濺射速率有很大影響。在這里，我們討論靶材綁定和襯墊管質(zhì)量對(duì)大面積鍍膜的影響。

靶材綁定對(duì)大面積鍍膜的影響
為避免脆性材料如金屬、合金或氧化物等韌性低的斷裂，在制備平面靶材時(shí)，通常將靶材綁在銅背板上。相比之下，旋轉(zhuǎn)靶材綁在不銹鋼襯墊上，常用的綁定材料為金屬銦或其它金屬物質(zhì)。除了保護(hù)靶材在運(yùn)輸過程中不發(fā)生意外破裂外，還可以通過將靶材拼接到背板（襯管）上，改善靶材機(jī)械強(qiáng)度不足的問題，解決大型靶材制備和使用受限的問題。它可以保證靶材良好的冷卻和電接觸，防止靶材在濺射過程中出現(xiàn)不均勻的濺射和開裂。

由于靶材在濺射過程中會(huì)產(chǎn)生很多熱量，而陶瓷靶材，如氧化鋅鋁濺射靶材的散熱性能較差。如果綁定靶材的無效粘合面積大于靶材和襯墊/背板接觸面積的10%。在這種情況下，濺射過程中很容易產(chǎn)生局部熱量積聚。低熔點(diǎn)綁定材料銦（熔點(diǎn)為156°C）熔化，導(dǎo)致靶材開裂甚至脫落。同時(shí)，由于氧化鋅的存在，氧化鋅鋁靶材的表面在加工過程中經(jīng)常被結(jié)節(jié)。撞擊電弧放電更容易發(fā)生在裂紋處，從而加劇結(jié)渣（見圖1a），嚴(yán)重影響靶材的使用功率和循環(huán)。它降低了鍍膜產(chǎn)品的生產(chǎn)效率，增加了生產(chǎn)成本。而且，導(dǎo)熱系數(shù)和導(dǎo)電性不均勻會(huì)導(dǎo)致靶材的濺射不均勻（成膜不均勻），表面和放電現(xiàn)象也會(huì)導(dǎo)致不均勻的成膜，并會(huì)出現(xiàn)膜色差。對(duì)電介質(zhì)層變化敏感的三種銀制品之間的差異更加突出，這將增加涂層的報(bào)廢率。因此，靶標(biāo)的綁定質(zhì)量對(duì)其使用具有重大影響。

有一些金屬或合金旋轉(zhuǎn)靶材具有良好的導(dǎo)熱性，如ZnAl濺射靶材，ZnSn濺射靶材，SiAl濺射靶材。由于靶材與不銹鋼管熱膨脹系數(shù)（在熱脹冷縮作用下幾何尺寸隨溫度變化變化的正則系數(shù)）的差異，還需要使用一些連接材料進(jìn)行粘接。如果組合性不好，也會(huì)出現(xiàn)靶材加熱不均勻、熱傳導(dǎo)受阻、開裂、脫落等現(xiàn)象（如圖1b所示），會(huì)影響涂布產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)。

靶材襯管質(zhì)量對(duì)大面積鍍膜的影響
當(dāng)不銹鋼管末端內(nèi)部倒角過大或過?。ㄒ话銥?5°）時(shí)，末端或安裝螺紋處出現(xiàn)較大的劃痕、溝槽、變形或雜質(zhì)。由于密封松動(dòng)，容易造成漏氣，導(dǎo)致真空度低，濺射膜成分異常，均勻性差等影響涂布產(chǎn)品質(zhì)量的因素。同時(shí)，不銹鋼管的直線度和內(nèi)徑也會(huì)影響其使用。如果不銹鋼管目標(biāo)圓筒的內(nèi)徑較小或內(nèi)徑有整體偏差（只有端部的尺寸滿足內(nèi)徑的要求）。安裝磁性鋼后，磁性鋼與靶材之間在生產(chǎn)過程中容易發(fā)生嚴(yán)重摩擦。當(dāng)目標(biāo)旋轉(zhuǎn)時(shí)，它會(huì)嚴(yán)重跳躍，這會(huì)損壞末端并影響成膜質(zhì)量。特別是對(duì)于使用時(shí)間長(zhǎng)后有輕微變形的磁鋼，對(duì)靶材襯管的要求相對(duì)較高。

靶材的綁定及襯管質(zhì)量對(duì)于靶材鍍膜來說十分重要，這不僅要求團(tuán)隊(duì)的意識(shí)性，也要求專業(yè)性，這樣才能鍍出好膜。關(guān)于更多靶材知識(shí)詳情還可咨詢我們。

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