靶材開裂還能用嗎以及靶材開裂的影響因素

生產(chǎn)中使用的冷卻水溫度與鍍膜線實際水溫存在差異，導(dǎo)致使用過程中靶材開裂。一般來說，輕微的裂紋不會對鍍膜生產(chǎn)產(chǎn)生很大的影響。但當(dāng)靶材有明顯裂紋時，電荷很容易集中在裂紋邊緣，導(dǎo)致靶材表面異常放電。放電會導(dǎo)致落渣、成膜異常、產(chǎn)品報廢增加。

靶材開裂影響因素

裂紋形成通常發(fā)生在陶瓷濺射靶材（如氧化物、碳化物、氮化物等）和脆性材料濺射靶材（如鉻、銻、鉍等）中。

陶瓷或脆性材料目標始終包含固有應(yīng)力。這些內(nèi)應(yīng)力是在靶材制造過程中產(chǎn)生的。此外，這些應(yīng)力不能通過退火過程完全消除，因為它是這些材料的固有特性。在濺射過程中，轟擊的氣體離子將其動量傳遞給目標原子，為它們提供足夠的能量來脫離晶格。這種放熱動量傳遞增加了目標的溫度，在原子水平上可能達到1，000，000攝氏度。這些熱沖擊將目標中已經(jīng)存在的內(nèi)部應(yīng)力增加到許多倍。在這種情況下，如果不注意適當(dāng)?shù)纳?，靶材可能會開裂。

靶材開裂預(yù)防措施

為了防止靶材開裂，重要的考慮因素是散熱。一方面運用水冷機制來去除靶材中不需要的熱能，另一方面考慮提高功率，在很短的時間內(nèi)提升功率也會給目標帶來熱沖擊。此外，建議將這些靶材綁定到背板上，這不僅為靶材提供支撐，而且還促進靶材與水之間更好的熱交換。如果靶材破裂有背板加持的情況下，它仍然可以毫無問題地使用。

影響靶材鍍膜使用的相關(guān)文章

靶材綁定和襯管質(zhì)量對大面積鍍膜的影響

濺射靶材相對密度和間隙對大面積鍍膜的影響

濺射靶材晶體尺寸和晶體方向?qū)Υ竺娣e鍍膜的影響

濺射靶材純度和均勻性對大面積鍍膜的影響

[免責(zé)聲明]本站文章部分為原創(chuàng)，其余僅做網(wǎng)絡(luò)公開資料的翻譯、歸納和整理，不屬于商業(yè)用途，僅用于讀者信息分享，供讀者學(xué)習(xí)參考，不對文章內(nèi)容的真實性、合法性、準確性、有效性、完整性等提供保證及負責(zé)，且不對讀者提供任何投資及應(yīng)用建議。本站尊重知識產(chǎn)權(quán)，因整理資料所需，文中引用部分有來源于第三方公開的數(shù)據(jù)、圖片等內(nèi)容的，如有版權(quán)的則其所屬的知識產(chǎn)權(quán)歸屬原作者，本站文章凡有引用的內(nèi)容均在文末標注了原文出處或者原作者，若版權(quán)所有者認為文章涉嫌侵權(quán)或其他問題，請聯(lián)系我方（聯(lián)系電話：0731-86393472）及時處理。本站提供技術(shù)方面的文章不用于商業(yè)僅供大家學(xué)習(xí)參考，力求數(shù)據(jù)嚴謹準確，但因受時間及人力限制，文章內(nèi)容難免有所紕漏，如有重大失誤失實，敬請不吝賜教批評指正。本站原創(chuàng)文章版權(quán)歸本網(wǎng)站所有，轉(zhuǎn)載請聯(lián)系本站，本站擁有對此聲明的終解釋權(quán)。