2、將鍛造得到的釩鑄錠進行退火處理,退火的溫度為400-500℃,保溫時間為60-120min,然后采用空冷進行冷卻;
3、將退火得到的釩鑄錠進行軋制,并控制每道次的下壓量0.5-1mm,控制總變形量為70-80%,直至得到所需直徑和厚度的釩靶坯;
4、將軋制得到的釩靶坯進行再次退火處理,再次退火的溫度為450-550℃,保溫時間為90-150min,再次退火之后進行水冷,得到所需高純釩靶坯。
此制備得到的釩靶坯不僅內(nèi)部結(jié)構(gòu)均勻,還具有晶粒細小的優(yōu)點,下圖是釩濺射靶材的兩種典型的顯微金相檢測圖片,平均粒徑<100um。
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