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關(guān)于氧化銅靶材性能,制備方法及其應(yīng)用介紹

氧化銅靶材是一種用于濺射鍍膜工藝的靶材,通常由氧化銅粉末經(jīng)過高溫?zé)Y(jié)而成。它在半導(dǎo)體、集成電路、平板顯示、太陽(yáng)能電池等領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用。


氧化銅靶材


氧化銅靶材特征

氧化銅靶材形狀:平面靶、異型定制

氧化銅靶材純度:3N,4N

氧化銅靶材尺寸:按圖紙加工或其他者定制

我們還可以提供氧化銅顆粒、氧化銅粉末


氧化銅靶材圖片


氧化銅靶材制備工藝

將氧化銅粉末在120-150℃真空去氣后裝入石墨模具中;

將氧化銅粉末放入干凈的氧化鋁坩堝中,然后放入真空爐中抽真空至小于10Pa,以2-10℃/min的速率升溫至120~150℃,保溫1~5h,然后隨爐冷卻至室溫;

將冷卻至室溫的氧化銅粉末冷壓至5-10MPa,然后在真空條件下升溫至780-820℃保溫處理,再加壓至30-50MPa保溫保壓處理,保溫保壓時(shí)間結(jié)束后,隨爐冷卻至室溫,脫模,得到氧化銅靶坯;

對(duì)所得氧化銅靶坯進(jìn)行銑面處理,得到濺射用氧化銅靶材。


氧化銅靶材化學(xué)成分表

上圖是氧化銅靶材的化學(xué)成分分析表


氧化銅靶材應(yīng)用

電子工業(yè):氧化銅薄膜廣泛應(yīng)用于電子工業(yè)中的導(dǎo)電涂層、電磁屏蔽和熱管理。由于其良好的電導(dǎo)率和熱導(dǎo)率,氧化銅靶材在電路板、電子元件封裝等領(lǐng)域有著重要應(yīng)用。

光伏產(chǎn)業(yè):氧化銅在太陽(yáng)能電池制造中也有應(yīng)用,特別是在CIGS(銅銦鎵硒)類太陽(yáng)能電池中,氧化銅是重要的原材料之一,用于形成光吸收層。

生物醫(yī)學(xué):在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域,氧化銅靶材可以用于制備抗菌涂層,這在醫(yī)療設(shè)備和植入體中非常重要。此外,氧化銅還具有催化過氧化氫產(chǎn)生氧氣的作用,因此在生物化學(xué)實(shí)驗(yàn)中也有應(yīng)用。


氧化銅其他應(yīng)用

催化劑:氧化銅因其高電化學(xué)活性,常被用作催化劑。它可以催化一氧化碳(CO)的氧化反應(yīng),在汽車尾氣處理中很重要。此外,CuO也被用于醇類化合物的氧化和加氫反應(yīng)。

太陽(yáng)能電池:在CIGS(銅銦鎵硒)類太陽(yáng)能電池中,氧化銅是重要的原材料之一,用于形成光吸收層,從而將太陽(yáng)能轉(zhuǎn)換為電能。

磁性材料:氧化銅具有鐵磁性,可用于制備磁性薄膜和納米顆粒,在數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和磁性傳感器等領(lǐng)域有潛在應(yīng)用。

電容器:氧化銅的高電導(dǎo)率使其成為制備電容器的良好材料,尤其在需要高頻下的良好電導(dǎo)性的場(chǎng)合。

玻璃和陶瓷:氧化銅在玻璃和陶瓷工業(yè)中用作顏料和釉料成分,它能提供深藍(lán)色或綠色的色彩,廣泛用于瓷器和玻璃裝飾。

生物醫(yī)學(xué):氧化銅具有抗菌特性,因此在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域中,它可用于制備抗菌涂層或者作為藥物載體。

光學(xué)材料:氧化銅薄膜可以阻擋紅外線輻射,因此在光學(xué)涂層中用于制備紅外反射涂層。


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