鎳鐵合金靶材是一種由鎳和鐵兩種金屬組成的靶材材料。鎳鐵合金靶材通常具有良好的物理和化學性能。在物理性質方面,它具備一定的硬度、強度和良好的導電性、導熱性。在化學性質上,它表現出較好的耐腐蝕性和抗氧化性。這種靶材常用于薄膜沉積工藝,例如磁控濺射等,以在基底表面形成鎳鐵合金薄膜。鎳鐵合金薄膜在電子、半導體、磁性材料等領域有著廣泛的應用。
鎳鐵靶材特征
鎳鐵靶材形狀:平面靶、異型定制
鎳鐵靶材純度:3N5
鎳鐵靶材尺寸:按圖紙加工或其他者定制
我們還可以提供鎳鐵合金顆粒、鎳鐵合金片,鎳鐵合金棒。
鎳鐵合金靶材制備工藝
對鎳鐵合金鑄錠進行熱鍛開坯,加熱溫度為900-1300℃。消除鑄態(tài)組織,焊合鑄造缺陷,得到所需形狀的坯料;
將熱鍛后的壞料進行冷軋,軋制時的道次變形量為5%-30%,總變形量為30-99%,軋制方向可根據靶材形狀采用單向軋制或交叉軋制;
對壞料進行多次軋制,兩次冷軋之間需進行中間熱處理,熱處理溫度為600-1000℃,消除加工硬化;
對終軋后的坯料進行再結晶熱處理,結晶熱處理溫度為700-1100℃,使組織發(fā)生完全再結品;
對再結晶熱處理后的坯料進行變形,變形量為5-15%軋制變形;
將坯料加工成所需規(guī)格,得到鎳鐵合金濺射靶材。
上圖是鎳鐵合金靶材的成分分析表
鎳鐵合金靶材材應用
電子領域:用于制造集成電路中的薄膜電阻、磁性存儲器件的磁性薄膜等,以改善電子元件的性能和穩(wěn)定性。
半導體行業(yè):在半導體制造過程中,可用于沉積薄膜,起到導電、阻擋、擴散阻擋等作用,有助于提高芯片的性能和可靠性。
磁性材料:制備磁性薄膜,應用于磁傳感器、磁記錄介質等,例如硬盤的磁頭和磁帶。
薄膜太陽能電池:用于制備太陽能電池的導電層,有助于提高電池的光電轉換效率和穩(wěn)定性。
表面涂層:為工件表面提供耐磨、耐腐蝕和裝飾性的涂層,增強其使用壽命和外觀。
平板顯示器:用于制造平板顯示器中的導電層和電極等部件。
鎳鐵合金其他應用
不銹鋼和合金生產:鎳鐵是不銹鋼生產中的重要原料之一,鎳的添加可以提高合金的抗腐蝕性和其他性能。
電磁應用:鎳鐵合金具有高磁導率和低矯頑力,適用于電磁透鏡的極件、變壓器、傳感器、磁記錄讀出磁頭等。
航空航天:鈷鉻鐵鎳合金靶材在航空航天領域用于制造發(fā)動機和結構組件,因其耐高溫、抗腐蝕和良好的機械性能。
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