鎳鈦合金靶材是一種由鎳和鈦組成的用于濺射鍍膜的材料，具有形狀記憶合金的特性，能夠在特定溫度下自動恢復(fù)原始形狀。它的伸縮率在20%以上，疲勞壽命達(dá)1*10的7次方，阻尼特性比普通的彈簧高10倍，其耐腐蝕性優(yōu)于目前的醫(yī)用不銹鋼。鎳鈦合金靶材除了具有獨(dú)特的形狀記憶功能外，還具有耐磨損、抗腐蝕、高阻尼和超彈性等優(yōu)異特點(diǎn)。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、集成電路、信息存儲、顯示器、汽車后視鏡等產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域。
鎳鈦靶材特征
鎳鈦靶材形狀：平面靶、異型定制
鎳鈦靶材純度：3N，4N
鎳鈦靶材尺寸：按圖紙加工或其他者定制
我們還可以提供鎳鈦合金顆粒、鎳鈦合金片，鎳鈦合金棒
鎳鈦合金靶材制備工藝
熔煉：首先將金屬鈦和金屬鎳以一定比例混合，在保護(hù)氣氛下進(jìn)行熔煉，得到合金熔體。
澆鑄：將熔煉得到的合金熔體進(jìn)行澆鑄，冷卻后得到鎳鈦合金鑄錠。
鍛造：對鎳鈦合金鑄錠進(jìn)行鍛造，鍛造前通常需要預(yù)熱處理，鍛造的總變形率控制在一定范圍內(nèi)，例如70-80%，以消除鑄錠內(nèi)部的組織疏松等鑄造缺陷。
退火：鍛造后的合金材料進(jìn)行一次退火處理，退火溫度和保溫時(shí)間根據(jù)具體要求確定，例如溫度可能在800-950℃，保溫時(shí)間60-120分鐘，以消除鍛造后的內(nèi)部殘余應(yīng)力及組織缺陷。
軋制：一次退火后的合金材料進(jìn)行至少一輪軋制，每輪軋制進(jìn)行多道次，并控制每道次的下壓量，總變形量同樣控制在一定范圍內(nèi)，如70-80%，以細(xì)化晶粒并促進(jìn)內(nèi)部組織均勻性。
二次退火：軋制后的合金材料進(jìn)行二次退火，溫度控制在580-600℃，保溫時(shí)間90-150分鐘，然后進(jìn)行水冷，以停止晶粒生長。
機(jī)加工：二次退火和水冷后的合金材料進(jìn)行機(jī)加工，包括車削去除氧化皮和線切割外圓，然后進(jìn)行檢測、清洗、干燥和包裝，終得到鎳鈦合金濺射靶材。
上圖是鎳鈦合金靶材的成分分析表
鎳鈦合金靶材材應(yīng)用
醫(yī)療領(lǐng)域：用于醫(yī)療器械表面涂層，可提高器械的生物相容性和耐腐蝕性，如心血管支架、骨科植入物等。
電子領(lǐng)域：用于半導(dǎo)體制造，在集成電路的制造過程中，用于薄膜沉積，以改善電子元件的性能和可靠性。
航空航天領(lǐng)域：用于航空零部件涂層，增強(qiáng)零部件的耐磨、耐腐蝕和高溫性能。
工業(yè)領(lǐng)域：用于刀具涂層，提高刀具的硬度和耐磨性，延長使用壽命。
鎳鈦合金其他應(yīng)用
醫(yī)療器械：形狀記憶合金在醫(yī)療領(lǐng)域應(yīng)用廣泛，如用于制造支架、導(dǎo)管、夾子等。
航空航天：鎳鈦合金在航空航天領(lǐng)域中用于制造熱膨脹補(bǔ)償器、天線等，因其在極端溫度下仍能保持性能。
汽車工業(yè)：用于制造汽車中的傳感器、連接器、緊固件等，利用其耐腐蝕和形狀記憶特性。
電子和電氣工程：鎳鈦合金用于制造電子設(shè)備的小型化元件，如微電機(jī)、傳感器等。
能源行業(yè)：在石油和天然氣行業(yè)，鎳鈦合金用于制造井下工具，如封隔器、安全閥等。
建筑和土木工程：用于制造建筑結(jié)構(gòu)中的減震器、連接器等，利用其在地震等情況下的形狀記憶特性。
工業(yè)自動化：在自動化設(shè)備中，鎳鈦合金用于制造驅(qū)動器、執(zhí)行器等。
環(huán)境工程：在環(huán)境工程中，鎳鈦合金用于制造污水處理設(shè)備、過濾系統(tǒng)等。
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