濺射靶材于1852年首次發(fā)現(xiàn),并于1920年被開發(fā)為薄膜沉積技術(shù),它是一種物理氣相沉積技術(shù)的古老工藝,但在現(xiàn)代技術(shù)和制造中具有許多用途。該過程開始于將襯底(或其他要鍍膜的物品)送入包含兩個(gè)磁體的真空室中。將受控氣體(例如氬氣)引入室內(nèi)后,強(qiáng)大的磁體從基板中拉出原子。然后這些原子以氣態(tài)形式相互碰撞,然后凝結(jié)成等離子,該等離子干燥成襯底上的薄膜。終產(chǎn)品是薄而耐用的薄膜,適用于各種應(yīng)用。
濺射靶材應(yīng)用領(lǐng)域
當(dāng)今許多常用產(chǎn)品具有通過濺射靶材形成的薄膜。
· 半導(dǎo)體類
大多數(shù)現(xiàn)代電子產(chǎn)品都包含用鉭濺射靶生產(chǎn)的必要組件。這些包括微芯片,存儲(chǔ)芯片,打印頭,平板顯示器以及其他。
· 玻璃涂層
濺射靶材用于生產(chǎn)低輻射鍍膜玻璃(也稱為L(zhǎng)ow-E玻璃),由于其節(jié)能,控制光和美觀的能力而常用于建筑結(jié)構(gòu)。
· 太陽能電池涂層
對(duì)可再生能源的需求正在上升。第三代薄膜太陽能電池是使用濺射鍍膜技術(shù)制備的。
鑫康提供的濺射靶材各自具有適合的不同應(yīng)用。其中常見的包括:
· 鉭濺射靶材
鉭用作半導(dǎo)體生產(chǎn)的硅晶片上的阻擋層,鉭用于所有現(xiàn)代電子產(chǎn)品中。手機(jī),DVD和藍(lán)光播放器,筆記本電腦,汽車電子設(shè)備甚至游戲機(jī)都包含鉭。
· 鈮濺射靶材
鈮通常用于電子產(chǎn)品,其性質(zhì)與鉭相似。鈮由于其氧化膜而具有抗腐蝕性,被認(rèn)為是超導(dǎo)體。
· 鈦濺射靶材
鈦具有輕巧,耐腐蝕的特性,可用于包括手表,筆記本電腦和自行車在內(nèi)的各種常規(guī)產(chǎn)品中。這種材料通常用于耐磨性和美學(xué)設(shè)計(jì),但也可以用于半導(dǎo)體和光學(xué)涂層。
· 鎢絲濺射靶材
鎢薄膜是一種裝飾性涂層,因其熱,物理和機(jī)械特性(例如高熔點(diǎn)和導(dǎo)熱性)而廣泛使用。
· 鉬濺射靶材
該元素具有較低的密度和一致的價(jià)格,可以代替鎢使用,通常用于涂覆太陽能電池板電池。
· 鉿濺射靶材
經(jīng)常用作半導(dǎo)體的絕緣體,以及表面硬度和保護(hù)層。作為具有高介電常數(shù)的元素,它可以改善某些電子設(shè)備的性能。
· 硅濺射靶材
該靶材料通常用于硅太陽能電池的生產(chǎn)中。
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