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長沙鑫康新材料有限公司 新聞資訊 行業(yè)資訊 關于銅鋅合金靶材性能,制備方法及其應用介紹
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關于銅鋅合金靶材性能,制備方法及其應用介紹

銅鋅合金靶材


銅鋅合金靶材是一種由銅(Cu)和鋅(Zn)組成的合金濺射靶材,具有獨特的物理、化學和力學性能,廣泛應用于薄膜制備、電子工業(yè)、裝飾鍍層等領域。


銅鋅靶材性能特點

良好的導電性:銅和鋅都是良好的導體,使得銅鋅合金靶材具有優(yōu)良的導電性能,適用于制備電子薄膜、導電涂層等。
耐腐蝕性:具有較好的耐腐蝕性,尤其是在一些特定環(huán)境中,如海洋設備與化工行業(yè)中的應用,鋅的存在可以提高合金的耐蝕性。
機械性能優(yōu)良:合金靶材通常具有較高的硬度和強度,在濺射過程中能夠保持靶材的穩(wěn)定性和耐用性,其強度和硬度可通過調整銅鋅比例以及添加其他合金元素來控制。
熱穩(wěn)定性好:在高溫下具有較低的熱膨脹性和良好的結構穩(wěn)定性,在真空濺射設備中表現(xiàn)卓越,適用于高精度的微電子制造。
可加工性強:易于加工成型,可以通過鍛造、軋制、擠壓等多種加工方式制成各種形狀和尺寸的靶材,滿足不同應用場景的需求。




銅鋅合金濺射靶材


銅鋅合金靶材的制備方法
原料準備:選用高純銅(Cu)和鋅(Zn)金屬原料,通常銅和鋅的純度在 99.99% 以上,以減少雜質對靶材性能的影響。根據所需銅鋅合金的成分比例,準確稱量銅和鋅的質量。例如,如果要制備含銅 80%、含鋅 20% 的合金靶材,按照目標靶材的重量,計算出所需銅和鋅的具體用量。
熔煉與合金化:在真空感應熔煉爐中進行,避免氧化(真空度≤10-3Pa)。先熔化銅(熔點1083℃),再加入鋅(沸點907℃),通過電磁攪拌確保成分均勻。充入惰性氣體(如氬氣)抑制鋅揮發(fā),熔煉溫度控制在1100-1200℃。
鑄造與成型:采用水冷銅模鑄造,減少成分偏析,獲得細小晶粒。車削去除表面氧化層。
熱加工與變形:加熱至700-800℃(低于鋅再揮發(fā)溫度)進行多道次軋制或鍛造,變形量≥60%,破碎鑄造組織。在500-600℃退火1-2小時,消除加工應力。
冷加工:室溫下進一步變形(變形量30%-50%),提高密度和強度。線切割或數控機床加工至設計尺寸。


銅鋅合金靶材應用領域
半導體制造:用于芯片制造中導電薄膜的濺射沉積,是多層互連結構制備的關鍵材料。在 CIGS 薄膜太陽能電池中,銅鋅合金靶材也是關鍵組成材料,其純度直接影響電池的轉換效率。
電子顯示:廣泛應用于 OLED 和液晶顯示器的導電薄膜制備,其導電性與光學性能有助于提高顯示器的亮度、清晰度和顯示效果。
航空航天:可用于制造航空航天設備中的耐腐蝕涂層材料,以提升設備在惡劣環(huán)境下的耐用性。
汽車制造:用于汽車零部件表面耐磨保護涂層的制備,提高零部件的表面性能,如耐磨性、抗氧化性能等,延長汽車零部件的使用壽命。

銅鋅合金應用領域
電氣和電子行業(yè):銅鋅合金具有優(yōu)異的導電性和抗腐蝕性,是制造電氣連接器、終端、開關、斷路器等電氣元件的理想材料。這些元件需要在各種環(huán)境下保持可靠的電氣性能,銅鋅合金的特性使其能夠滿足這些要求。
汽車行業(yè):在汽車制造中,銅鋅合金被廣泛用于制造各種零部件,如散熱器核心、熱交換器、連接器、軸承和襯套等。其良好的熱傳導性、耐腐蝕性和機械性能,使其在汽車冷卻系統(tǒng)和電氣系統(tǒng)中表現(xiàn)出色。
工業(yè)機械:銅鋅合金在工業(yè)機械中應用廣泛,例如泵組件、閥門、液壓系統(tǒng)等。其高強度和耐腐蝕性使其能夠在惡劣的工作條件下保持長期穩(wěn)定運行。
建筑和裝飾:銅鋅合金因其美觀的外觀和耐腐蝕性,常用于建筑裝飾和硬件,如門把手、鉸鏈、裝飾件等。其易于加工的特性使其能夠制作出復雜的形狀和設計。


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