通常靶材為多晶結(jié)構(gòu)，晶粒大小可由微米到毫米量級。晶粒越細(xì)小則晶界面積越大，對性能的影響也越大。對于同一種靶材，晶粒細(xì)小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快；而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的厚度分布更均勻。據(jù)研究發(fā)現(xiàn),若將鈦靶的晶粒尺寸控制在100um以下,且晶粒大小的變化保持在20%以內(nèi),其濺射所得的薄膜的質(zhì)量可得到大幅度的改善。

3、截點(diǎn)法：截點(diǎn)數(shù)是計(jì)算已知長度的試驗(yàn)線段（或網(wǎng)格）與晶粒界面相交截部分的截點(diǎn)數(shù)，利用單位長度截點(diǎn)數(shù) 來確定晶粒度級別數(shù)。截點(diǎn)法的精確度是計(jì)算的截點(diǎn)數(shù)或截距的函數(shù)，通過有效的統(tǒng)計(jì)結(jié)果可達(dá)到 ±0.25級的精確度。截點(diǎn)法的測量結(jié)果是無偏差的，重現(xiàn)性和再現(xiàn)性小于±0.5級。對同一精度水平，截點(diǎn)法由于不需要精確標(biāo)計(jì)截點(diǎn)或截距數(shù)，因而較面積法測量快。

長沙鑫康新材料有限公司擁有領(lǐng)先的靶材熱處理技術(shù)以及進(jìn)口蔡司金相顯微鏡檢測設(shè)備，靶材出廠前100%進(jìn)行金相檢測測試，確保靶材的內(nèi)部組織結(jié)構(gòu)均勻。鑫康新材料有限公司通過先進(jìn)的加工與檢測設(shè)備，完善的質(zhì)量體系控制，為客戶提供一流的靶材產(chǎn)品，并配備了完善的售后服務(wù)和質(zhì)量追溯系統(tǒng)，是鍍膜行業(yè)客戶的首選供應(yīng)商。