靶材綁定代加工-鑫康靶材綁定背板技術(shù)服務(wù)支持

靶材綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來(lái)。主要有三種的方式：壓接、釬焊和導(dǎo)電膠。壓接采用壓條, 一般為了提高接觸的良好性，會(huì)增加石墨紙、Pb或In皮;釬焊一般使用軟釬料的情況下，釬料常用In、Sn、In-Sn，要求濺射功率小于20W/cm2;導(dǎo)電膠采用的導(dǎo)電膠要耐高溫，厚度在0.02-0 05微米。無(wú)氧銅背板是靶材綁定通用的背板.具有足夠強(qiáng)度，導(dǎo)熱性導(dǎo)電性也極高.而且容易施工.價(jià)格低并可重覆使用。

為什么要綁定
1、防止靶材受熱不勻碎裂，例如ITO、SiO2、陶瓷等脆性靶材及燒結(jié)靶材；
2、節(jié)省成本，防止變形，如靶材太貴，可將靶材做薄些，綁定背靶以防止變形。

靶材背靶的選擇
1、對(duì)材質(zhì)的要求一般選用無(wú)氧銅和鉬靶，導(dǎo)電性好，無(wú)氧銅的導(dǎo)熱性比紫銅好；
2、厚度適中，一般建議背靶厚度3mm左右。太厚，消耗部分磁強(qiáng)；太薄，容易變形。

靶材綁定過(guò)程
1、綁定前將靶材和背靶表面預(yù)處理，
2、將銅背板固定于加熱臺(tái)上,將靶材放置銅背板上，對(duì)銅背板進(jìn)行加熱,
3、加熱到綁定溫度，通過(guò)釬焊將靶材貼合在銅背板上
4、表面上放置配重塊,待靶材冷卻后取下配重塊處理。如此,解決了銦流動(dòng)性不均勻的問(wèn)題及避免了粘貼面氣孔的產(chǎn)生,從而提高了靶材與銅背板的綁定質(zhì)量。

靶材綁定使用的注意事項(xiàng)
1、濺射溫度不宜太高
2、電流要緩慢加大
3、循環(huán)冷卻水應(yīng)低于35攝氏度
4、適宜的靶材致密度

背靶脫落的原因
1、濺射溫度高，背靶易被氧化和發(fā)生翹曲，靶材在高溫濺射時(shí)會(huì)開(kāi)裂，造成背靶脫落；
2、電流太大，導(dǎo)熱太快造成溫度過(guò)高，焊料熔化，造成焊料不均勻，造成背靶脫落；
3、循環(huán)冷卻水出水口的溫度應(yīng)低于35攝氏度，循環(huán)水溫度高，造成散熱不好而脫落；
4、靶材本身的致密度，靶材的致密度很高時(shí)，不易吸附，無(wú)空隙，背靶易脫落。

以上是關(guān)于靶材綁定的簡(jiǎn)單描述，希望能讓大家了解靶材綁定。鑫康新材料公司專(zhuān)注于濺射靶材研發(fā)、生產(chǎn)。由中南大學(xué)材料科學(xué)工程學(xué)院材料科學(xué)專(zhuān)業(yè)的幾位博士、碩士等科研人員一手創(chuàng)建，是集金屬及陶瓷化合物鍍膜材料研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售于一體的具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高新技術(shù)企業(yè)。歡迎留言或致電?。?！