錸靶材是由高純錸金屬組成的銀灰色靶材,密度較高、熔點較高,具有良好的耐熱性和耐腐蝕性。它的熔點高達(dá)3180°C,使其在高溫環(huán)境下具有出色的穩(wěn)定性。錸靶材廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電子、航空航天、化工等領(lǐng)域。在半導(dǎo)體工業(yè)中,錸靶材用于制備薄膜材料,如硅、氮化硅等。
錸靶材特征
錸靶材形狀:平面靶 異型定制
錸靶材純度:3N5, 4N
錸靶材尺寸:按圖紙加工或者定制
我們還可以提供金屬鉛塊、鉛顆粒、鉛錠等
錸靶材制備方法
錸粉制備:將錸粉加入球磨機(jī)中,并在球磨機(jī)中進(jìn)行球磨混合,以獲得細(xì)小的錸粉。
錸粉燒結(jié):將錸粉放入燒結(jié)爐中,通過高溫?zé)Y(jié)使錸粉顆粒結(jié)合,形成固體塊狀。
錸塊加工:將錸塊取出,進(jìn)行機(jī)械加工,如切割、磨削、拋光等,以獲得所需的錸靶材形狀和尺寸。
清洗和檢驗:對錸靶材進(jìn)行清洗,去除表面污染物。然后對錸靶材進(jìn)行質(zhì)量檢驗,包括外觀檢查、尺寸測量、化學(xué)成分分析等。
需要注意的是,錸靶材的制備過程可能因具體應(yīng)用而有所差異,上述步驟僅為一般制備方法的概述。在實際操作中,還需要根據(jù)具體要求和設(shè)備條件進(jìn)行調(diào)整和優(yōu)化。
錸靶材應(yīng)用
錸靶材是一種用于物理蒸發(fā)、磁控濺射和電子束蒸發(fā)等薄膜制備技術(shù)的重要材料。
它廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域:
半導(dǎo)體行業(yè):錸靶材常用于制備薄膜材料,如金屬錸薄膜、氮化錸薄膜和錸硅薄膜等,用于制造半導(dǎo)體器件和集成電路。
光電子行業(yè):錸靶材常用于制備光學(xué)薄膜,如反射鏡、透鏡、濾光片等,用于光學(xué)儀器、激光器、光纖通信等領(lǐng)域。
錸其他用途
錸合金領(lǐng)域
錸的全球儲量很少,同時價格也比較昂貴,在應(yīng)用上多采用含錸的合金。作為合金添加元素,錸能夠大幅度改善、提高合金的性能。錸能與鎢、鉬、鉑、鎳、釷、鐵、銅等多種金屬形成一系列合金,其中錸鎢、錸鉬、錸鎳系高溫合金是錸的重要的合金,被廣泛應(yīng)用到航空航天、電子等工業(yè)部門。
錸效應(yīng)
錸能夠同時提高鎢、鉬、鉻的強(qiáng)度和塑性,人們把這種現(xiàn)象稱為"錸效應(yīng)"。如添加少量(3~5%)的錸能夠使鎢的再結(jié)晶起始溫度升高300~500℃——錸(Re)的上述作用被稱為錸效應(yīng)。W-Re和Mo-Re合金具有良好的高溫強(qiáng)度和塑性,可加工成板、片、線、絲、棒,用于航天、航空的高溫結(jié)構(gòu)件(噴口、噴管、防熱屏等)、彈性元件及電子元件等。
催化劑
錸及其化合物具有優(yōu)異的催化活性(錸對很多化學(xué)反應(yīng)具有高度選擇性的催化功能),因而常被用作石油化工等領(lǐng)域的催化劑。催化重整是石油煉制過程之一,是提高汽油質(zhì)量和生產(chǎn)石油化工原料的重要手段。錸鉑合金作為催化重整過程中的一種催化劑,能夠提高重整反應(yīng)的深度,增加汽油、芳烴和氫氣等的產(chǎn)率。此外,錸還可用作汽車尾氣凈化的催化劑,而錸的硫化物則可用作為甲酚、木素等的氫化催化劑。
錸靶材其他系列產(chǎn)品
除錸靶材外,我們還可以提供鎢錸合金、鉬錸合金、鎳錸合金、鋨錸合金靶材等。
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