濺射靶材在電子行業(yè)的種類及應(yīng)用

濺射靶材在建筑、光學(xué)、電子等諸多領(lǐng)域有著重要的應(yīng)用。電子工業(yè)中使用的濺射靶材可細(xì)分為半導(dǎo)體靶材（也稱為 anelva靶材）、平面靶材、鍍膜玻璃靶材、太陽能光伏靶材等。 不同應(yīng)用領(lǐng)域?qū)R射材料的選擇和性能要求存在一定差異 。其中，用于半導(dǎo)體集成電路的濺射靶材——anelva靶材的要求為嚴(yán)苛。

下表顯示了電子領(lǐng)域?yàn)R射靶材的主要類型、用途和性能要求。如果對你有幫助，請把這篇文章分享給你的朋友。

半導(dǎo)體 - 用于制備集成電路芯材。常用的濺射靶材有鎢（W）、鎢鈦（WTi）、鈦（Ti）、鉭（Ta）、鋁（Al） 合金，純度為 4N 或 5N。 其對靶材也有很高要求，高技術(shù)要求、超高純度金屬、尺寸精度高。

平面顯示器 - 濺射技術(shù)保證所生產(chǎn)薄膜的均勻性，提高生產(chǎn)率并降低成本。常用的濺射靶材有Nb、Si、Cr、Mo、MoNb、Al 合金、Cu 和 Cu 合金靶材， 技術(shù)要求高、高純度材料、材料面積大、高均勻度。

裝飾 - 用于產(chǎn)品表面的鍍膜，以美化，耐磨和耐腐蝕。常用的濺射靶材有Cr、Ti、Zr、Ni、W、TiAl、CrSi、CrTi、CrAlZr 靶材， 一般技術(shù)要求、主要用于裝飾、節(jié)能等。

工具 - 提高工模具的表面，提高制造零件的壽命和質(zhì)量。常用的濺射靶材有TiAl、CrAl、Cr、Ti、TiC、Al2O3靶材，高性能要求、延長使用壽命。

太陽能 - 用于生產(chǎn)第四代薄膜太陽能電池的濺射鍍膜技術(shù) 。常用的濺射靶材有ZnOAl、ZnO、ZnAl、Mo、CdS、CIGS合金靶材，技術(shù)要求高、應(yīng)用范圍大。

電子器件 - 薄膜電阻器，薄膜電容器。常用的濺射靶材有NiCr，NiCrSi，CrSi，Ta，NiCrAl合金靶才；要求體積小、穩(wěn)定性好、電阻溫度系數(shù)低。

信息存儲 - 用來做儲物。常用的濺射靶材有鉻合金、鈷合金、鈷鐵合金、鎳合金靶材， 存儲密度高、高傳輸速度 。

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