靶材如何保養(yǎng) 鑫康從五大點(diǎn)來(lái)講解

濺射靶清潔

步驟 1用浸有丙酮的無(wú)絨軟布清潔濺射靶材；
步驟 2與第一步類似，用酒精清潔目標(biāo)；
步驟 3用去離子水清洗目標(biāo)材料。之后，將目標(biāo)物放入烘箱中并在 100 攝氏度下干燥 30 分鐘。
步驟 4用高壓、低濕氣的氬氣沖洗靶材，以去除任何可能在濺射系統(tǒng)中引起電弧的不純顆粒。

短路和密封性檢查

靶材安裝好后，需要對(duì)整個(gè)陰極做短路檢查和密封檢查。建議用電阻表晃動(dòng)手表來(lái)判斷陰極是否短路。在確定陰極沒有短路后，可以進(jìn)行漏水檢查，將水通入陰極，以確定是否有漏水現(xiàn)象。

包裝與運(yùn)輸

所有目標(biāo)都包裝在帶有防潮層的真空密封塑料袋中。外包裝一般是一個(gè)木箱，四周有防撞層，以保護(hù)目標(biāo)和背面目標(biāo)在運(yùn)輸和儲(chǔ)存過(guò)程中不受損壞。


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