ITO靶材不同制備方法的優(yōu)缺點

之前我們介紹了ITO靶材的四種主要成型方法，主要是關于它們的定義和特點。而今天我覺得有必要談談每種方法的優(yōu)缺點，這有助于你在準備ITO靶材時在它們之間做出選擇。

ITO靶材制備方法熱壓

熱壓法是壓制成型和熱燒結同時進行的工藝，該工藝的優(yōu)點是：

(1)在熱壓過程中，由于粉末處于熱塑性狀態(tài)，變形阻力小，塑性流動和致密化容易，因此所需的成型壓力小。(2)同時加熱和加壓有利于粉末顆粒之間的接觸、擴散和流動，降低燒結溫度和縮短燒結時間，抑制晶粒長大。(3)熱壓法容易得到接近理論密度、孔隙率接近于零的燒結體，容易得到細晶組織。

(2)同時加熱和加壓有利于粉末顆粒之間的接觸、擴散和流動，降低燒結溫度和縮短燒結時間，抑制晶粒長大。

(3)熱壓法容易得到接近理論密度、孔隙率接近于零的燒結體，容易得到細晶組織。

這種方法的主要缺點是：

(1)由于熱壓設備和模具尺寸的限制，得到的目標尺寸較小。目前目標的大尺寸為400×300mm。

(2)該方法對模具材料（一般為高純高強度石墨）要求較高。而且熱壓設備需要進口，不適合工業(yè)化連續(xù)生產。生產效率低，成本高。

(3)靶材晶粒的均勻性差。

ITO靶材制備方法熱等靜壓

熱等靜壓是制備ITO 濺射靶材常用的方法。它具有以下優(yōu)點：

(1)可以克服石墨模具中熱壓的缺點。

(2)在加熱加壓狀態(tài)下，產品同時向各個方向加壓，使所得產品具有很高的密度（接近理論密度）。

(3)熱等靜壓強化了壓制和燒結過程，降低了燒結溫度，從而避免了晶粒長大，使制品獲得優(yōu)良的物理機械性能。

這種方法的主要缺點是 ：

(1)靶材尺寸受設備壓力和氣缸尺寸的限制，難以制備大尺寸靶材。

(2)設備昂貴，投資成本高。

(3)生產效率低，生產成本高，使產品缺乏競爭力。

ITO靶材制備方法常溫燒結

常溫燒結法的主要優(yōu)點是：

(1)靶材尺寸不受設備限制，可以生產大尺寸靶材。

(2)設備投資少，生產成本低，生產效率高，靶材性能優(yōu)良，易于工業(yè)化生產。

(3)該方法適用于高端顯示器鍍膜靶材的性能要求。

它的缺點是：

(1)該方法與其他方法相比是難燒結的方法。為了獲得致密的燒結體，通常需要添加燒結助劑。然而，燒結助劑很難從燒結體中去除，從而降低了產品的純度。

(2)對粉體的形狀、粒度和粒度分布有嚴格要求。為達到要求，一般對粉體進行球磨、氣流磨和沉降分級。

(3)生產的靶材一般較薄。

ITO靶材制備方法冷等靜壓

冷等靜壓制備ITO靶材的優(yōu)點是：

(1)與機械壓制相比，由于冷等靜壓壓力大，工件受力均勻，特別適合壓制大尺寸粉末制品。

(2)壓粉產品具有密度高、均勻的優(yōu)點。

(3)壓粉不需要添加潤滑劑等。

(4)生產成本低，適合大批量生產。

然而，高壓氧的使用使該過程變得危險。

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