平面靶材和旋轉(zhuǎn)靶材的優(yōu)缺點

市場上常見的濺射靶材主要有平面靶材和旋轉(zhuǎn)靶材，每種靶材各有優(yōu)缺點。

對于平面靶材，其主要優(yōu)點是結(jié)構(gòu)簡單，通用性強，膜層均勻性和重復性好。它大的缺點是靶材利用率低，一般只有20%左右；當輝光區(qū)（磁場分布區(qū)）的靶材消耗到一定程度時，會形成條狀凹坑，使靶體變薄；當凹坑深度達到一定值時，目標就不能再使用了。

對于旋轉(zhuǎn)靶材，與平面靶相比，其主要優(yōu)點是結(jié)構(gòu)緊湊，靶利用率更高，這意味著旋轉(zhuǎn)靶可以解決平面靶利用率低的問題。但是，旋轉(zhuǎn)靶材也有一些不可避免的缺點，濺射時整個靶材表面有很多輝光環(huán)，無法形成連續(xù)的帶狀輝光。因此，在涂覆大面積膜層時，膜層表面的均勻性較差，難以滿足要求，這是旋轉(zhuǎn)靶材的大缺點。

從以上內(nèi)容我們知道，兩種形狀的靶材各有優(yōu)缺點。一方面，不同靶形的性能與具體的制備項目和產(chǎn)品有關(guān)；另一方面，人們正在嘗試開發(fā)兼具平面靶和旋轉(zhuǎn)靶優(yōu)點的新型靶材，如圓柱面靶材。

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