鑫康專業(yè)定制制造的靶材公司

鑫康新材料有限公司是定制制造濺射靶材的專家。公司可以提供全系列的濺射靶材，包括從工業(yè)級到超高純度的各種成分。也可以提供一些附加服務(wù)器，包括綁定，背板。公司始終堅(jiān)持研發(fā)制造技術(shù)，以提供更多的價(jià)值和更好的產(chǎn)品。

濺射靶材的制造方法：
鑫康有很多制造方法，可用的方法如下所示：真空感應(yīng)熔煉（VIM），真空感應(yīng)懸浮熔煉爐真空燒結(jié)，真空熔鑄，真空電弧熔煉，熱壓（HP），熱等靜壓（HIP），冷等靜壓（CIP），冷壓和燒結(jié)，F(xiàn)Z，CZ，CVD……現(xiàn)在我們的等離子噴涂技術(shù)正在研究和改進(jìn)中，我們將提供一些樣品。

背板和粘接服務(wù)： 背板包括OFHC銅，鋁，鈦，不銹鋼或鉬。尺寸將根據(jù)您的圖紙進(jìn)行設(shè)計(jì)。
粘接服務(wù)
背面金屬化處理，大可達(dá)1600 x 1000mm
金屬和非金屬粘接覆蓋率> 98％的
粘接完整性超聲波c掃描

濺射靶的形狀和大?。簣A盤，矩形，臺階，板，片，管，箔，棒，錐度，環(huán)，S型槍，定制。
圓盤靶，柱靶，階梯晶片靶（直徑<350mm，厚度> 1mm）
矩形靶，切片靶，階梯矩形靶（長度<1500mm，Witdh <300mm，厚度> 1mm）
管狀靶/旋轉(zhuǎn)濺射靶（外徑< 300mm，厚度> 2mm）

濺射靶材列表（根據(jù)應(yīng)用） ：

半導(dǎo)體相關(guān)靶材/電極和導(dǎo)線的薄膜布置： 鋁靶材，銅靶材，金靶材，銀靶材，鈀靶材，鉑靶材，硅硅鋁靶材，硅鋁硅銅合金靶材等。

包膜電極薄膜： 鉬靶材，鎢靶材，鈦靶材等；

凝集薄膜： 鎢靶材，鈦靶材等。

絕緣薄膜： PbTiZrO3靶材等。

具有磁性薄膜磁記錄的硬盤： CoCrTa合金靶材，CoCrPt合金靶 材 ，CoCrTaPt合金靶材...

薄膜磁頭： CoTaCr合金靶材，CoCrZr合金靶材...

天然晶體膜： CoPt合金靶材，CoPd合金靶材...

相變光盤記錄膜： TeSe靶材，SbSe靶材，GeSbTe靶材，GeTe合金靶材...

磁盤磁光記錄膜： TbDyCo合金靶材，TbDyFe靶材，Al2Oe靶材，MgO靶材，SiN靶材...

CD反射膜： 鋁靶材，AlTi合金靶材，AlCr靶材，金靶材，金合金靶材...

CD保護(hù)膜： SiN靶材，SiO2靶材，ZnS靶材...

平面顯示器用透明導(dǎo)電膜： ITO靶材，AZO靶材，二氧化硅靶材，鈦靶材，鉻靶材...

顯示配線膜電極： 鉬靶材，鎢靶材，鈦靶材，鉭靶材，鉻靶材，鋁靶材，鋁鈦合金靶材，AlTa合金靶材，鋁釹合金靶材，AlNd合金靶材...

顯示薄膜電致發(fā)光： ZnS摻雜的Mn靶，ZnS摻雜的Tb靶，ZnS摻雜的Eu靶，Y2O3靶，Ta2O5靶，BaTiO3靶...

裝飾膜： 鈦靶，鋯靶，鉻靶，TiAl靶，SS靶...

低電阻膜： NiCr靶，NiCrSi合金靶，NiCrAl靶，NiCu合金靶...

超導(dǎo)薄膜： YBCO靶（YBaCuO靶），BiSrCaCuO靶...

工具鍍膜： 氮化物靶，碳化物靶，硼化物靶，Cr靶，Ti靶，TiAl合金靶，Zr靶，石墨靶，鋁99.99％，鉻99.5％，鎳/鉻99.5％，鎳和合金99.5％，鎢碳化物C：0.4％，鈦及合金（TiAL，TiALY）99.5％，鋯99.5％

薄膜太陽能電池：硅濺射靶材，砷化鎵（GaAs）99.999％，ITO 99.99％，鈦金屬99.9％，鋁氧化鋅（AZO）99.99％，氧化鋅（ZnO）99.99％二氧化硅（SiO2）99.99％，氧化鈦（TiO2）99.99％，鉬99.9％，鎳/鉻（80:20）99.5％，NiV靶材，鉻靶99.5?99.9％，碲化鎘（CdTe）99.999％，硫化鎘（CdS）99.99％， 99.999％，鉑（Pt）99.99％，GaSe靶材，GaS靶材，CuGa靶材，CuIn靶材，CuInGaSe（CIGS）99.99％，CuInSe（CIS）99.99％，ZnAl合金濺射靶，CIG濺射靶（5N）

濺射靶材料清單：

金屬濺射靶材： 鋁（Al），銻（Sb），鉍（Bi），硼（B），鎘（Cd），鈰（Ce），鉻（Cr），鈷（Co），銅（Cu），s（Dy）， （Er），Euro（Eu），Ga（Gd），鍺（Ge），金（Au），石墨，碳（C），Ha（Hf），Hol（Ho），銥（Ir），銦（ In），鐵（Fe），鑭（La），鉛（Pb），L（Lu），錳（Mn），鉬（Mo），鎂（Mg），釹（Nd），鈮（Nb），鎳（ Ni），鈀（Pd），鉑（Pt），Pra（Pr），hen（Re），釕（Ru），Sa（Sm），Scan（Sc），硒（Se），硅（Si），銀（ Ag），鉭（Ta），b（Tb），碲（Te），錫（Sn），Th（Tm），鈦（Ti），鎢（W），釩（V），Y（Yb），釔（ Y），鋯（Zr），鋅（Zn）；
合金濺射靶材：AlCu，AlCr，AlMg，AlNd，AlSi，AlSiCu，AlAg，AlV，CaNiCrFe，CaNiCrFeMoMn，CeGd，CeSm，CrSi，CoCr，CoCrMo，CoFe，CoFeB，CoNi，CoNiCr，CoPt，CoNbZr，CoTaZr，CoZr，CrV，Cr CrSi，CrCu，CuCo，CuGa，CuIn，CuNi，CoNiPt，CuZr，DyFe，DyFeCo，F(xiàn)eB，F(xiàn)eC，F(xiàn)eMn，GdFe，GdFeCo，HfFe，IrMn，IrRe，InSn，MoNb，MoSi，NiAl，NiCr，NiCrSi，NdDyFeCo， NiFe，NiMn，NiNbTi，NiTi，NiV，SmCo，AgCu，AgSn，TaAl，TbDyFe，TbFe，TbFeCo，TbGdFeCo，TiAl，TiNi，TiCr，WRe，WTi，WCu，ZrAl，ZrCu，ZrFe，ZrNb，ZrNi，ZrTi， ZrY，ZnAl，ZnMg，其他定制合金靶材；

陶瓷濺射靶材：

硼化物陶瓷濺射靶材： Cr2B，CrB，CrB2，Cr5B3，F(xiàn)eB，HfB2，LaB6，Mo2B，Mo2B5，NbB，NbB2，TaB，TaB2，TiB2，W2B，WB，VB，VB2，ZrB2，其他摻雜的bo陶瓷靶材

碳化物陶瓷濺射靶材： B4C，Cr3C2，HfC，Mo2C，NbC，SiC，TaC，TiC，WC，W2C，VC，ZrC，其他摻雜的碳化物陶瓷靶材

氟化物陶瓷濺射靶材： AlF3，BaF3，CdF2，CaF2，CeF3，DyF3，ErF3，HfF4， KF，LaF3，PbF2，LiF，PrF3，MgF2，NdF3，ReF3，SmF3，NaF，冰晶石，Na3AlF6，SrF2，ThF4，YF3，YbF3，其他摻雜的氟化物陶瓷靶材

氮化物陶瓷濺射靶材： AlN，BN，GaN，Hf NbN，Si3N4，TaN，TiN，VN，ZrN，其他摻雜氮化物陶瓷靶材;

氧化物陶瓷濺射靶材： Al2O3，Sb2O3，ATO，BaTiO3，Bi2O3，CeO2，CuO，Cr2O3，Dy2O3，Er2O3，Eu2O3，Gd2O3，Ga2O3，GeO2，HfO2，Ho2O3，In2O3，ITO，F(xiàn)e2O3，F(xiàn)e3Ob，F(xiàn)e3Ob，F(xiàn)e3Ob，La3O4， Lu2O3，MgO，MoO3，Nd2O3，Pr6O11，Pr（TiO2）2，Pr2O3，Sm2O3，Sc2O3，SiO2，SiO，SrTiO3，SrZrO3，Ta2O5，Tb4O7，TeO2，ThO2，Tm2O3，Ti2TiO，Sn2O3，TiO2，TiO2， SnO，WO3，V2O5，YAG，Y3Al5O12，Yb2O3，Y2O3，ZnO，ZnO：Al，ZrO2（不穩(wěn)定），ZrO2-5-15wt％CaO）和其他多元素氧化物靶材;

硒化陶瓷濺射靶材： Bi2Se3，CdSe，CuSe，Ga2Se3，In2Se3，PbSe，MoSe2，NbSe2，TaSe2，WSe2，ZnSe，其他摻雜的棕鋁靶材；

硅化物陶瓷濺射靶材： Cr3Si，CrSi2，CoSi2，HfSi2，MoSi2，NbSi2，TaSi2，Ta5Si3，TiSi2，Ti5Si3，WSi2，V3Si，VSi2，ZrSi2，其他摻雜硅化物陶瓷靶材；

硫化物陶瓷濺射靶材： AgS，Ag2S，CuS，Cu2S，Sb2S3，As2S3，CdS，F(xiàn)eS，GaS，GeS，PbS，SnS，In2S3，MoS2，NbS1.75，TaS2，WS2，ZnS，其他摻雜的sulfide陶瓷靶材;

碲化物陶瓷濺射靶： Al2Te3，Bi2Te3，CdTe，CuTe，Ga2Te3，GeTe，PbTe，MoTe2，NbTe2，TaTe2，TmTe，WTe2，ZnTe，其他摻雜的碲化物陶瓷靶材；

定制濺射靶材： AZO，Cr-SiO，CIGS，ITO，IGZO，GaAs，Ga-P，GaSb，In-Sb，InAs，InP，InSn，LSMO，Na3AlF6，YBCO，LCMO，YSZ，GeSbTe等定制濺射靶材;