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銅靶材一種優(yōu)良的濺射材料



銅濺射靶材


銅濺射靶材是真空鍍膜行業(yè)的優(yōu)良濺射材料。濺射靶材是一組特殊的材料,特別適用于薄膜鍍膜, 銅濺射靶材是高純度銅金屬經過一系列工藝后的產物。它具有特定的尺寸和形狀。由于高純銅材料具有許多優(yōu)異的性能,銅靶在電子、通訊、超導、航空航天等前沿領域得到了廣泛的應用


您是否對銅金屬如何成為銅濺射靶感到好奇?您想了解銅濺射鍍膜靶材的規(guī)格和應用嗎?

銅濺射靶材生產工藝
如何制作銅濺射靶 – 步驟 1
將金屬轉化為銅濺射靶的第一步是熔煉。銅冶煉的原料是銅礦石,可分為三類。
· 硫化礦:黃銅礦(CuFeS2)、紫銅礦(Cu5FeS4)和黃銅礦(Cu2S)。
· 氧化礦石:銅礦(Cu2O)??兹甘?,[Cu2(OH)2CO3],金孔雀石 (CuSiO3·2H2O)。
· 天然銅
在不同類型的銅礦石中,含銅量在1%(0.5%~3%)左右的礦石是值得開采的。對于這些礦石,可以通過浮選去除一些脈石等雜質,容易獲得銅含量高(8%~35%)的精礦。提取后得到粗銅,通過多次電解和區(qū)域熔煉法將銅從99.95%提純到99.99%、99.999%和99.9999%。


用銅礦石制作銅濺射靶


如何制作銅濺射靶 – 第 2 步
接下來的一系列步驟包括鍛造、軋制和熱處理原材料中的高純銅錠。目的是使銅錠中的晶粒更小,密度更高,以滿足濺射所需的銅靶要求。


如何制作銅濺射靶——第 3 步
變形處理后,加工出高純度銅濺射材料,以達到高精度和高表面質量,并適合真空鍍膜機的尺寸。

銅濺射靶分類

正如我們上面提到的,銅靶通常分為平面銅靶和旋轉銅靶。平面靶為片狀,有圓形和方形。旋轉靶為管狀,利用效率高。經過高純銅擠壓、拉伸、矯直、熱處理、機加工等多種工藝,終可得到旋轉銅靶產品。


銅濺射靶材應用

銅靶材適用于直流二極濺射、三極濺射、四極濺射、射頻(RF)濺射、離子束濺射、磁控濺射等,可用于鍍膜反射膜、導電膜薄膜、半導體薄膜、電容器薄膜、裝飾薄膜、保護薄膜、集成電路、顯示器等。與其他靶材相比,如 鈦濺射靶材,銅靶材的價格要低得多。因此,在滿足膜層要求的前提下,銅靶是首選的濺射材料。

長沙鑫康新材料是一家是集金屬及陶瓷化合物鍍膜材料研發(fā)、生產、銷售于一體的濺射靶材制造商。如果您對靶材有任何疑問,可以進入我們的產品頁面了解更多信息,或直接向我們發(fā)送詢問。


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