銅鈦合金靶材是一種由銅和鈦兩種金屬元素組成的合金靶材,通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統(tǒng),在適當(dāng)工藝條件下,可在基板上濺射形成各種功能薄膜。 在鍍膜過程中可以產(chǎn)生多種顏色,具體顏色取決于鍍膜工藝中的反應(yīng)氣體種類、氣體比例以及膜層厚度等因素 。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)鍍膜、裝飾涂層、耐磨涂層等領(lǐng)域。
金色 在氮?dú)猸h(huán)境中鍍膜,形成氮化物。
玫瑰金 在氮?dú)夂图淄榈幕旌蠚怏w中鍍膜。
銀灰色 在氬氣或氮?dú)庵绣兡ぁ?
藍(lán)色、紫色 在氧氣環(huán)境中鍍膜,形成氧化物。
黑色 在甲烷環(huán)境中鍍膜。
銅鈦合金靶材主要應(yīng)用
半導(dǎo)體與電子:用于集成電路的導(dǎo)電層或阻擋層。
光學(xué)薄膜:制備高反射鏡、濾光片等,利用其可控的光學(xué)性能。
裝飾鍍膜:手機(jī)外殼、珠寶的耐磨彩色涂層(通過氮化處理呈現(xiàn)金色等)。
工業(yè)防護(hù):工具、模具的硬質(zhì)涂層(如摻入氮化鈦提升硬度)。