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長沙鑫康新材料有限公司 合金靶材 銅鈦合金靶材
銅鈦合金靶材
銅鈦合金靶材
產(chǎn)品類別
銅合金靶材
產(chǎn)品名稱
銅鈦合金靶材
元素符號
CuTi
純度
3N
形狀
平面靶 旋轉(zhuǎn)靶 異型定制

銅鈦合金靶材是一種由銅和鈦兩種金屬元素組成的合金靶材,通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統(tǒng),在適當(dāng)工藝條件下,可在基板上濺射形成各種功能薄膜。 在鍍膜過程中可以產(chǎn)生多種顏色,具體顏色取決于鍍膜工藝中的反應(yīng)氣體種類、氣體比例以及膜層厚度等因素 。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)鍍膜、裝飾涂層、耐磨涂層等領(lǐng)域。


 銅鈦合金靶材

合金成分比例

高鈦含量:鍍層接近鈦的銀白色,可能帶有淺黃色調(diào)。

高銅含量:呈現(xiàn)紅棕色或類似銅的金屬光澤,可能偏紅或橙。

中等比例:可能呈現(xiàn)金黃色、玫瑰金或青銅色,類似黃銅(銅鋅合金)的色調(diào)。


銅鈦合金靶材幾種可能的顏色及其對應(yīng)的鍍膜條件

金色 在氮?dú)猸h(huán)境中鍍膜,形成氮化物。
玫瑰金 在氮?dú)夂图淄榈幕旌蠚怏w中鍍膜。
銀灰色 在氬氣或氮?dú)庵绣兡ぁ?
藍(lán)色、紫色 在氧氣環(huán)境中鍍膜,形成氧化物。
黑色 在甲烷環(huán)境中鍍膜。 


銅鈦合金靶材主要應(yīng)用

半導(dǎo)體與電子:用于集成電路的導(dǎo)電層或阻擋層。
光學(xué)薄膜:制備高反射鏡、濾光片等,利用其可控的光學(xué)性能。
裝飾鍍膜:手機(jī)外殼、珠寶的耐磨彩色涂層(通過氮化處理呈現(xiàn)金色等)。
工業(yè)防護(hù):工具、模具的硬質(zhì)涂層(如摻入氮化鈦提升硬度)。


銅鋁合金靶材