2021.5.6號(hào)更新
*注以上四種配色均為鑫康主打的靶材材料加工元素
靶材材料通過(guò)真空熔煉或粉末冶金技術(shù),把元素周期表中的某一種金屬或非金屬元素加工制作得到某種材料,此材料就是我們所說(shuō)的靶材,是一種高速荷能粒子轟擊的目標(biāo)材料。鑫康生產(chǎn)的靶材純度在99.9%到99.9999%,形狀有平面靶、旋轉(zhuǎn)靶、異型定制。
靶材材料可分為
金屬靶材(Al,Au,Cr,Co,Ni,Cu,Mo,Ti,Ta...)、合金靶材(NiCr,CoNi,CoCr,TbFeCo,GdFeCo, MoW,CrSi...)、陶瓷靶材(氧化物,硅化物,碳化物,硫化物...)。
靶材的制備
靶材的制備工藝按金屬、非金屬類(lèi)區(qū)別,制備過(guò)程中除嚴(yán)格控制成分、尺寸之外,對(duì)材料的純度、熱度處理?xiàng)l件及成型加工方法等亦需嚴(yán)格控制。
鑄錠(真空或大氣感應(yīng)、電容解電子束溶、解法連續(xù)鑄造)或粉末冶金(篩選及混合熱壓、熱等靜壓(HIP) 冷壓及燒結(jié) )- 成型(鍛造、熱軋或冷軋、拉伸) - 熱處理(均質(zhì)化、再燒結(jié)) - 機(jī)械加工(切削、銑、車(chē)、磨、刨) - 與背扳接合(軟焊、擴(kuò)散焊) - 檢測(cè)(超聲波、光....)包裝運(yùn)輸
非金屬粉末(粉末篩選及混合熱壓、熱等靜壓(HIP)、冷壓及燒結(jié))- 機(jī)械加工(切削、銑、車(chē)、磨、刨) - 與背扳接合(軟焊、擴(kuò)散焊) - 檢測(cè)(超聲波、光....)包裝運(yùn)輸
靶材材料不同,制備的靶材在各種產(chǎn)業(yè)的應(yīng)用也是有區(qū)別
微電子領(lǐng)域:鋁合金(4N-6N)Al、AlSi、AlCu、AlTi、AlSiCu、AlSiPd、AlSiTi;硅化物(5N),MoSi、WSi、TiSi;鎳(4N),Ni、NiCr;高熔點(diǎn)金屬(3N-6N),MoW、TiW;鉻(3N),Cr、Cr-Si;鉭(3N-6N)Ta;銅(4N-6N)Cu;鈦(4N-5N)Ti。
平面顯示領(lǐng)域:鈮靶(3N5)Nb;硅靶(4N-5N)Si;鉻靶(2N5-3N5)Cr;鉬靶(3N5)Mo、MoNb;鋁合金靶;銅合金。
磁記錄領(lǐng)域:鈷(3N),CoNi、CoNi-Cr、CoCrTa、CoCrPt、CoCr;鎳NiFe;鐵合金,F(xiàn)eCo、FeSiAl、FeGaSi;鉻(3N-4N)Cr。
光碟領(lǐng)域:碲、硒(4N),Te、Se、TbFeCo、DyTbFCb、NdDyFbCo、GdTbFeCo、DyFeCo;稀上金屬(3N),TbFe、TbFeCo、DyTbFeCo、DyFeCo、NdDyFbCo、GdTbFeCo、DyFeCo。
電子器件領(lǐng)域:鎳合金(3N),NiCr、NiCrSi、NiCrAl、NiCu;鉭(3N-6N),Ta、TaAl;鉻(3N),Cr-Si。
太陽(yáng)能光伏領(lǐng)域:氧化鋅鋁靶、氧化鋅靶、鋅鋁靶、鉬靶、硫化鎘(CdS)靶、銅銦鎵硒等。
裝飾領(lǐng)域:鎳合金(3N-4N)Ni,NiV、NiCr;釩靶(2N-3N)V;鉬靶(3N5)Mo;鈦靶(4N-5N)Ti;鋁鈦合金(2N8)AlTi。
工具鍍膜:TiAl靶、鉻鋁靶、Cr靶、Ti靶、TiN、TiC、Al203等。