銅鎳鈦合金靶材是一種由銅、鎳和鈦三種金屬組成的合金靶材，結(jié)合了銅的高導(dǎo)電性、鎳的耐腐蝕性以及鈦的高強(qiáng)度特性，廣泛應(yīng)用于光學(xué)、電子、裝飾、耐磨涂層等領(lǐng)域。

銅鎳鈦合金靶材性能特點(diǎn)

高強(qiáng)度和耐腐蝕性：鎳和鈦的加入顯著提升合金的耐蝕性和機(jī)械強(qiáng)度。
良好的導(dǎo)電/導(dǎo)熱性：銅基體提供優(yōu)異的電導(dǎo)率和熱導(dǎo)率。
形狀記憶效應(yīng)（若含鈦量高）：鈦的加入可能賦予合金一定的形狀記憶或超彈性特性。
成膜性能優(yōu)異：濺射后的薄膜均勻致密，附著力強(qiáng)。

銅鎳鈦合金靶材制備方法

原料準(zhǔn)備：選用純度≥99.9%的電解銅、鎳板及海綿鈦，按目標(biāo)合金比例（Cu: 50-70%、Ni: 20-30%、Ti: 10-20%，如Cu-30Ni-5Ti wt%）稱重。
真空熔煉工藝：按配比將銅、鎳、鈦原料依次裝入坩堝，通常將高熔點(diǎn)金屬（如鎳、鈦）置于底部，銅置于上層，以促進(jìn)均勻熔化。將爐內(nèi)真空度抽至 10-3~10-4 Pa，充入高純氬氣保護(hù)，然后逐步升溫至 1600~1800℃（高于鈦的熔點(diǎn) 1668℃），確保所有金屬完全熔化。通過電磁攪拌或機(jī)械攪拌使熔體成分均勻化，保溫 10~20 分鐘，消除成分偏析。將熔融金屬倒入預(yù)熱的模具（如石墨?；蜚~模）中，冷卻成型為合金錠。
均勻化處理：將合金錠放入箱式電阻爐中，在 800~950℃（低于合金固相線溫度）下保溫 2~4 小時(shí)，隨爐冷卻至室溫。
熱加工成型：將均勻化后的合金錠加熱至700~900℃，通過鍛造機(jī)或軋機(jī)進(jìn)行塑性變形，制成靶材坯料。
退火處理：在 600~750℃下保溫 1~2 小時(shí)，空冷或隨爐冷卻。
機(jī)械加工：對坯料進(jìn)行機(jī)械加工，包括切割、車削、磨削等工藝，以達(dá)到所需的靶材尺寸和表面精度要求。