鋁鋅合金靶材通過特定工藝制備而成的合金靶材，具有耐磨性好、摩擦系數(shù)小、摩擦溫升低等特性。廣泛應(yīng)用于光學(xué)鍍膜、半導(dǎo)體、顯示技術(shù)和功能性涂層等領(lǐng)域。

鋁鋅合金靶材性能特點(diǎn)

輕量化：鋁鋅合金密度較低，適合需要輕質(zhì)材料的應(yīng)用。
耐腐蝕性：鋅的加入提升了鋁的抗氧化和耐腐蝕性能。
導(dǎo)電/導(dǎo)熱性：保留鋁的優(yōu)良導(dǎo)電性和導(dǎo)熱性。
成膜均勻性：濺射時(shí)膜層致密，附著力強(qiáng)。

良好的導(dǎo)電性：鋁和鋅本身都是具有良好導(dǎo)電性的金屬，其合金靶材制備的薄膜也具有優(yōu)異的導(dǎo)電性能，能夠滿足電子器件等領(lǐng)域?qū)?dǎo)電薄膜的要求。

鋁鋅合金靶材制備方法

原料準(zhǔn)備：選用純度≥99.99%的鋁（Al）和鋅（Zn）顆?；蝈V塊，根據(jù)靶材成分要求（如Al:Zn = 50:50 at.% 或 90:10 at.%），精確稱量原料。
熔煉與合金化：將原料放入真空感應(yīng)熔煉爐或電弧熔煉爐中，抽真空至10?3 Pa以上，充入惰性氣體（如氬氣）保護(hù)。升溫至鋁鋅共晶點(diǎn)以上（約500-600℃），充分?jǐn)嚢枋购辖鸪煞志鶆?，避免Zn揮發(fā)（可適當(dāng)過量添加Zn補(bǔ)償揮發(fā)損失）。將熔融合金澆入預(yù)熱（200-300℃）的銅?；蚴Ｖ?，冷卻形成鑄錠。
均勻化處理：將鑄錠在300-400℃下保溫10-24小時(shí)，消除成分偏析，提高組織均勻性。
機(jī)械加工：熱鍛或熱軋（溫度200-300℃）鑄錠至所需厚度，細(xì)化晶粒并提高致密度。車削或銑削成接近靶材尺寸的坯料，表面粗糙度控制在Ra≤1.6 μm。