鋁鎳合金靶材是一種由鋁（Al）和鎳（Ni）元素組成的合金靶材，具有優(yōu)異的耐腐蝕性、耐磨性和高溫性能。主要用于物理氣相沉積（PVD）等工藝，通過濺射的方式在基底材料上沉積形成鋁鎳合金薄膜。

鋁鎳合金靶材性能特點(diǎn)

機(jī)械性能：具有較高的強(qiáng)度和硬度，能增強(qiáng)薄膜的耐磨性和抗變形能力，使其在應(yīng)用中不易受到外力破壞。
耐腐蝕性：鋁和鎳的組合賦予了合金良好的耐腐蝕性能，可抵御多種化學(xué)物質(zhì)的侵蝕，提高薄膜的使用壽命。
抗氧化性：在高溫環(huán)境下，鋁鎳合金表面能形成一層致密的氧化膜，阻止進(jìn)一步的氧化，確保薄膜在惡劣環(huán)境下的穩(wěn)定性。
導(dǎo)電性與導(dǎo)熱性：鋁和鎳都是良好的導(dǎo)電和導(dǎo)熱材料，因此鋁鎳合金靶材制備的薄膜具有較好的導(dǎo)電、導(dǎo)熱性能，可滿足電子器件等領(lǐng)域的相關(guān)需求。

鋁鎳合金靶材制備方法

原料準(zhǔn)備：選用純度大于99.9%的鋁塊和鎳塊，根據(jù)靶材成分要求（如 Al-Ni合金中Ni含量為5%~30%），按化學(xué)計量比精確稱重配料。
真空熔煉制備：將原料放入真空感應(yīng)爐中（配備石墨或氧化鎂坩堝），抽真空至≤10?3 Pa，充入高純氬氣保護(hù)。加熱至1500-1600℃（高于Ni熔點(diǎn)1455℃），待鎳液均勻后，加入鋁原料（因鋁熔點(diǎn)低，后加可減少揮發(fā)），升溫至 700~800℃，使鋁完全熔化。然后用電磁攪拌或惰性氣體攪拌（如氬氣）使合金液成分均勻，保溫 20~30 分鐘，確保元素擴(kuò)散充分。
鑄錠成型：將合金液倒入預(yù)熱至 200~300℃的銅?；蚴＞咧校焖倮鋮s（水冷或空冷），得到合金鑄錠。
鑄錠處理：將鑄錠放入真空退火爐，加熱至 400~500℃（低于合金再結(jié)晶溫度），保溫 4~8 小時，隨爐冷卻。退火后鑄錠在 300~400℃下進(jìn)行熱鍛或熱軋，變形量控制在 30%~50%，破碎鑄造晶粒，提高致密度。
機(jī)加工：將得到的鋁鎳合金濺射靶材粗品進(jìn)行機(jī)加工，得到鎳鋁合金濺射靶材。