陶瓷靶材是比較脆的靶材，通常陶瓷靶材都會綁定背板一起使用。背板除了在濺射過程中可支撐陶瓷靶材，還可以在濺射過程中起到熱傳遞的作用。陶瓷靶材一般選用無氧銅和鉬靶做背板綁定。
無氧銅背板
無氧銅是通用的背板.具有足夠強(qiáng)度，導(dǎo)熱性導(dǎo)電性也極高.而且容易施工。價格低并可重覆使用。
無氧銅背板背板綁定流程
將銅背板固定于加熱臺上，將靶材放置銅背板上，對銅背板進(jìn)行加熱，通過釬焊將靶材貼合在銅背板上，靶材的遠(yuǎn)離銅背板的表面上放置配重塊，待靶材冷卻后取下配重塊步驟。
將銅背板固定于加熱臺上，銅背板在升溫過程中變形量減少，提高了粘貼面的平整度，為高質(zhì)量的靶材綁定做好準(zhǔn)備，釬焊后在靶材上放置配重塊，解決了銦流動性不均勻的問題及避免了粘貼面氣孔的產(chǎn)生，從而提高了靶材與銅背板的綁定質(zhì)量。
鉬背板適用于高溫綁定，然而銅背板在高溫下較易氧化或者變形。當(dāng)銅背板與靶材的熱膨脹系數(shù)不匹配時，鉬背板可與一些熱膨脹系數(shù)小的靶材匹配。
以上是陶瓷靶綁定比較常用的背板，陶瓷靶材的種類很多，我們可以根據(jù)陶瓷靶的不同性質(zhì)選用不同的背板。如果您對陶瓷靶的綁定有任何疑問，可以隨時電話或者微信與我們溝通。
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