物理氣相沉積(Physical Vapour Deposition,PVD)是指在真空條件下,采用物理方法,將材料源氣化成氣態(tài)原子或者通過電子轟擊材料源產(chǎn)生原子濺射過程,再在基體表面沉積具有某種特殊功能薄膜的技術(shù)。 物理氣相沉積的主要方法有:真空蒸鍍、濺射鍍膜、電弧等離子體鍍、離子鍍膜,及分子束外延等。發(fā)展到目前,物理氣相沉積(PVD)技術(shù)不僅可沉積金屬膜、合金膜、還可以沉積化合物、陶瓷、半導(dǎo)體、聚合物膜等。
物理氣相沉積(PVD)技術(shù)基本原理可分二個工藝步驟:
PVD鍍膜靶材的優(yōu)勢
1.良好的耐久性。與其他涂層(例如電鍍)相比,PVD涂層有時更硬且更耐腐蝕,厚度更薄。
2.廣泛的應(yīng)用。幾乎所有類型的無機材料和有機材料都可以被用于鍍膜原材料。
3.環(huán)保。由于PVD鍍膜涂層工藝是在真空環(huán)境中進行的,因此它比其他傳統(tǒng)涂層技術(shù)(例如電鍍和噴漆)更加環(huán)保。
4.方便的清潔:您可以節(jié)省清潔和拋光產(chǎn)品的時間和成本,軟布或玻璃清潔劑足以清潔PVD膜。
5.高質(zhì)量和多種選擇:PVD鍍膜涂層除了具有特殊的功能,還具有多種顏色,表面細膩光滑,具有金屬光澤,永不褪色。常見的顏色是金黃色(TiN),亮銀(CrN),紫色(TiAlN)等。
PVD鍍膜靶材的應(yīng)用
物理氣相沉積(PVD)技術(shù)簡單,環(huán)保,無污染,易操作,并且與基材的結(jié)合力強。 PVD技術(shù)廣泛用于門窗五金,燈具,珠寶,工藝品和其他裝飾產(chǎn)品的加工。 PVD技術(shù)現(xiàn)在在半導(dǎo)體及集成電路領(lǐng)域非常流行,其他如太陽能光伏、節(jié)能玻璃、電動能源領(lǐng)域也有廣泛應(yīng)用。